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四川真空
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主办单位：
四川省真空学会
国投南光有限公司
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出版周期：
半年刊
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610062
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刊名： 四川真空发表期刊： 1997年1期页码:摘要：
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刊名： 四川真空发表期刊： 1997年1期页码:摘要： 本文介绍了从俄罗斯引进的快速响应真空送气阀（ＰＶ阀）性能的测试实验。实验包括阀门在连续流送气和脉冲送气两种工作状态的性能测试。初步实验结果表明：在一个大气压的输入气压下所测阀门的最大流量达２...
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刊名： 四川真空发表期刊： 1997年1期页码:摘要： 本文报道了在维修日本ＨＩＴＡＣＨＩ公司透射电子显微镜高压电子枪过程中发现的喷射氟里昂是真实检漏中一种简单而实用的方法。维修后高压电子枪的真空度达到１．３３×１０＾－３Ｐａ，灯丝的寿命超过７０...
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4. 油箱燃油泄漏的检漏技术刊名： 四川真空发表期刊： 1997年1期页码:摘要：
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5. 高漏抗变压器设计计算探讨刊名： 四川真空发表期刊： 1997年1期页码:摘要：
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刊名： 四川真空发表期刊： 1997年1期页码:摘要： 本文主要介绍多晶硅薄膜的淀积方法。对热壁ＬＰＣＶＤ多晶硅薄膜的表面形貌以及掺磷后的薄膜电阻进行分析。其次简要叙述了多晶硅薄膜在硅ＣＣＤ多路传输器研制中的应用。
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刊名： 四川真空发表期刊： 1997年1期页码:摘要： 着重介绍混合式硅化铂肖特基势垒红外焦平面阵列（ＨＰｔＳｉ－ＳＢＩＲＦＰＡ）的典型结构和现状。
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刊名： 四川真空发表期刊： 1997年1期页码:摘要： ＨＬ－１Ｍ装置采用Ｃ２Ｂ１０Ｈ１２蒸汽等离子体增强沉积技术对第一壁进行了原位硼化，在第一壁表面上形成一层半透明、非晶ａ－Ｂ／Ｃ：Ｈ膜。在单电极、１．２Ａ／７５０Ｖ放电参数下，平均沉积速率为１...
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刊名： 四川真空发表期刊： 1997年1期页码:摘要： 本文详尽地探讨高真空及超高真空中的残余气体的质谱分析方法，并运用这些方法在ＬＡＳ－２０００二次离子质谱仪上进行了应用研究，使我们对ＬＡＳ－２０００的本底真空有所了解，发现其超高真空中含较多的...
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刊名： 四川真空发表期刊： 1997年1期页码:摘要：
四川真空基本信息
| 刊名 | 四川真空 | 主编 | |
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| 主办单位 | 四川省真空学会 国投南光有限公司 | 主管单位 | |
| 出版周期 | 半年刊 | 语种 | |
| ISSN | CN | ||
| 邮编 | 610062 | 电子邮箱 | |
| 电话 | 028-290541 | 网址 | |
| 地址 | 成都市第109信箱207分箱 |
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