功能材料与器件学报期刊
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1638
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功能材料与器件学报

Journal of Functional Materials and Devices
本刊于1995年创刊,是由中国材料研究学会和中国科学院上海微系统与信息技术研究所共同主办的全国性学术期刊。 主要刊登反映功能材料与器件领域中具有创新性的科研成果和应用技术进展的论文、简报、综述和消息。 来稿可以涉及功能材料的制备、加工、性能和应用,以及功能器件的原理、工艺和性能等等,具体可以包括下列领域: 微电子机械系统(MEMS) 微电子和光电子材料与器件... 更多
主办单位:
中科院上海微系统与信息技术研究所 中国材料研究学会
期刊荣誉:
中国学术期刊综合评价数据库来源期刊  中国科技论文统计源期刊、中国科学引文数据库来源期刊   美国Ei,美国CA,英国SA,俄罗斯PЖ的文献源期刊  
ISSN:
1007-4252
CN:
31-1708/TB
出版周期:
双月刊
邮编:
200050
地址:
上海市长宁路865号
出版文献量(篇)
1638
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2
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  • 作者: 刁训刚 王天民 王怀义 王聪 郝维昌
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  237-241
    摘要: 为提高射频溅射成膜率,本文报道了一种配置于磁控溅射装置的射频(RF)增磁装置.基于此装置的实验结果表明,在不对原有装置作任何改动的情况下,在完全相同的溅射参数下,采用此装置可使射频溅射成膜率...
  • 作者: 张继华 杨传仁 莫尚军 闻伟 陈宏伟
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  242-247
    摘要: 在低成本的石英玻璃衬底上制备高性能电光薄膜非常有吸引力.本文采用溅射方法,并结合Pb3O4气氛退火工艺,在ITO/石英玻璃衬底上制备锆钛酸铅镧(PLZT 8/65/35)薄膜.结果表明:在优...
  • 作者: 唐艳艳 尚杰 张辉 张鹏翔 曹明刚
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  248-252
    摘要: 采用脉冲激光沉积(PLD)技术,分别在LaAlO3(LAO)、(La,Sr)(Al,Ta)O3(LAST)及SrTiO3(STO)三种不同的单晶衬底上制备了一系列无铅(Na1-χKχ)0.5...
  • 作者: 张锦文 李伟
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  253-257
    摘要: 碳纳米管因其独特而优异的电学、力学、热学、化学及电子特性等在很多领域上展现应用的潜力,而近年来碳纳米管在压力传感器方面的应用成为研究热点之一.本文综述了碳纳米管压力传感器的基本原理以及研究进...
  • 作者: 冯振宇 杨倩一 邹田春 陈兆晨
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  258-261
    摘要: 以碳纳米管、碳化硅颗粒为原料制备环氧树脂复合吸波材料,并对其吸波性能进行测试,研究了碳纳米管、碳化硅颗粒含量与复合材料吸波性能的关系.结果表明碳纳米管、碳化硅颗粒的含量对复合材料的吸波性能有...
  • 作者: 李智东 段云彪 赵昆渝 郭捷 陈平宇 黄航
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  262-266
    摘要: 采用常压固相烧结法制备Bi2SrCaCo2Oδ和Bi2Ca2Co2Oδ氧化物热电材料,研究Sr、Ca位替代或掺杂对陶瓷材料制备条件、晶体结构和电学性能的影响.通过XRD、SEM、EDS等表征...
  • 作者: 黄玥
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  267-273
    摘要: 本文较系统地介绍了电学双稳态聚合物基存储器的基本特性和结构,并对聚合物存储器中高低阻态之间相互转换的物理和化学机制进行了比较全面的综述,从而为进一步研究电学双稳态聚合物基非挥发存储器提出了有...
  • 作者: 乔佳 周妥记 李胜英 杨伟伟 熊义梅 王红强 龚阳辉
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  274-278
    摘要: 以磷酸铁、碳酸锂和葡萄糖为原料,钛酸酯偶联剂TC-Wt作分散剂及杂源,采用高温固相合成制备磷酸铁锂碳包覆复合材料,考察偶联剂的加入对目标化合物的物理性能及电化学性能的影响.通过XRD、SEM...
  • 作者: 于培盈 兰岚 张娇霞 李江洪 杨晓东 石伟 郑亚萍
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  279-285
    摘要: 本文中首先以SiO2纳米粒子为核,通过脱水反应在SiO2纳米粒子表面接枝3-硅羟基-1-丙基磺酸(SIT),再通过一元弱碱解离反应,以离子键接枝反离子聚氧乙烯十八烷基胺(Ethomeen18...
  • 作者: 吕继磊 朱金凤 汪建华 满卫东 董维 陈朋
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  286-292
    摘要: 近年来,掺硼金刚石(BDD)膜因具备独特的优异性能而作为电极材料已经受到很大的关注.本文通过MPCVD法在高掺杂硅衬底上生长掺硼金刚石膜,并用四探针、扫描电镜、激光拉曼和电化学工作站对其进行...
  • 作者: 刘宾宾 苏治斌 路超 辛有飞
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  293-296
    摘要: 以SnCl4·5H2O、Ce(NO3)3·6H2O、CuCl2·2H2O、La(NO3)3·6H2O为原料,柠檬酸为络合剂,采用sol-gel法,浸渍提拉技术制备了纯SnO2及其掺杂薄膜.利...
  • 作者: 旷山 杨燚 闵根宝 陆怀先
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  297-301
    摘要: 本文采用缺铁配方BaZnχCo2-χFe15.5 O27制备W型六角铁氧体,并深入研究了不同Zn离子和Co离子含量对铁氧体复合物微波性能的影响.结果表明,缺铁配方六角铁氧体复合物拥有较低的介...
  • 作者: 孙天厚 张军华 邓建国
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  302-306
    摘要: 研制了以片状镀银铜粉为导电填料,水性聚氨酯乳液和水性丙烯酸乳液为成膜树脂的水性导电涂料.分析了成膜树脂、填料含量、溶剂种类、涂层厚度对涂膜导电性能的影响,并通过涂层的微观结构和导电机理,探讨...
  • 作者: 余洪滔 刘桂香 卢超 徐光亮 曾丽文 陈劲松
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  307-312
    摘要: 采用传统陶瓷工艺制备了CaO-B2O3-SiO2(CBS)玻璃掺杂的MnZn铁氧体.研究了CBS玻璃掺入量及烧结温度对MnZn铁氧体的烧结特性及磁性能的影响.结果表明:样品的密度随着CBS掺...
  • 作者: 吴亚明 李四华 黄占喜
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  313-318
    摘要: 本文提出了一种新颖的MEMS多掩膜工艺,实现了带有大台阶和大深宽比窄槽的衬底上的体硅精细加工.通过薄胶多次光刻在衬底上制作出氧化硅(SiO2)、氮化硅(Si3N4)、光刻胶(photores...
  • 作者: 徐旺生 王慧铭
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  319-322
    摘要: 采用硬脂酸凝胶法制备出ZnFe2O4纳米晶体,通过傅里叶变换红外光谱(FT-IR)、X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)及能谱分析(EDS)对产物进行了表征.研究表明,用硬脂酸凝胶法制得...
  • 作者: 伍媛婷 王秀峰
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  323-326
    摘要: 采用改进的St(O)ber法制备了单分散性较好、表面光滑的SiO2球形颗粒,将丁二酸化学键合于SiO2胶体球表面以提高其Zeta电势,再采用垂直沉积法在水溶液中制备出SiO2胶体晶体.通过X...
  • 作者: 刘卫强 岳明 张久兴 李文波 王公平
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  327-332
    摘要: 应用放电等离子烧结技术(SPS)制备新型SPS NdFeB磁体.利用扫描电子显微镜(SEM)观察磁体的显微组织,利用B-H回线仪测量磁体磁性能,利用阿基米德法测量样品密度.系统研究了稀土含量...
  • 作者: 刘俊 唐军 王瑞荣 石云波 赵幸娟
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  333-337
    摘要: 通过对微机械陀螺的调研分析,提出了一种新型微机械陀螺仪,并对陀螺进行了结构设计.该结构采用静电梳齿驱动、栅结构电容检测,使陀螺具有较高灵敏度.驱动模态和检测模态均为滑膜阻尼,能够实现较高的Q...
  • 作者: 杨扬 潘文旭 陈志龙
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  338-340,337
    摘要: 电磁驱动电容检测的力平衡微机械陀螺相对于压阻检测等方式的其他形式的微机械陀螺来说,具有高灵敏度及高精度的突出优点,但是其接口电路也比较复杂.这一接口电路从功能上可分为驱动电路和检测电路两个部...

功能材料与器件学报基本信息

刊名 功能材料与器件学报 主编 邹世昌
曾用名
主办单位 中科院上海微系统与信息技术研究所 中国材料研究学会  主管单位 中国科学院
出版周期 双月刊 语种
chi
ISSN 1007-4252 CN 31-1708/TB
邮编 200050 电子邮箱 jfmd@mail.sim.ac.cn
电话 021-62511070 网址 www.jfmd.cn
地址 上海市长宁路865号

功能材料与器件学报评价信息

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