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集成技术期刊
出版文献量（篇）
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集成技术

Journal of Integration Technology

JST

影响因子 0.3884
《集成技术》系中国科学院深圳先进技术研究院主办，科学出版社有限公司出版的综合性学术刊物。主要刊登计算机系统、机器人、先进制造、自动化、图形及图像处理系统、CAD/CAE/CAM等领域的文章。该刊2012年5月20日创刊，现在是中国科学院科技期刊开发获取平台(CAS-OA)源期刊级中国知网（CNKI）及其系列数据库源期刊。
主办单位：
中国科学院深圳先进技术研究院
ISSN：
2095-3135
CN：
44-1691/T
出版周期：
双月刊
邮编：
518055
地址：
深圳市南山区西丽深圳大学城学苑大道1068号
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  • 1. 衬底温度对单晶金刚石同质外延生长的影响规律研究
    作者： 唐永炳 牛卉卉 石磊 蒋春磊
    刊名： 集成技术
    发表期刊： 2017年4期
    页码:  2-9
    摘要： 文章采用微波等离子体化学气相沉积法,以单晶金刚石籽晶为衬底进行金刚石外延生长,通过拉曼光谱、扫描电子显微镜及光学显微镜等多种表征测试手段,系统地研究了衬底温度对单晶金刚石同质外延生长的影响机...
  • 2. 甲烷浓度对硬质合金微型立铣刀表面生长金刚石涂层的影响
    作者： 唐永炳 张松全 王陶
    刊名： 集成技术
    发表期刊： 2017年4期
    页码:  10-19
    摘要： 金刚石涂层的应用可显著提升刀具使用寿命.文章采用钽丝为热丝,氢气、甲烷为反应气体,通过热丝气相沉积法在不同甲烷浓度下对硬质合金立铣刀表面进行沉积金刚石涂层.通过扫描电子显微镜、拉曼光谱对不同...
  • 3. Ti和TiN薄膜的制备以及残余应力的测试方法研究
    作者： 唐永炳 石磊 蒋春磊
    刊名： 集成技术
    发表期刊： 2017年4期
    页码:  20-28
    摘要： 基底曲率半径法是一种测量薄膜残余应力的常用方法,其中的光杠杆法应用最为广泛.文章在SUS304基底上使用电弧离子镀法制备了不同厚度的钛(Ti)和氮化钛(TiN)薄膜,研究了薄膜的形貌、密度以...
  • 4. 金刚石薄膜与硬质合金刀具膜-基结合性能研究进展
    作者： 唐永炳 王陶 黄磊
    刊名： 集成技术
    发表期刊： 2017年4期
    页码:  29-37
    摘要： 薄膜与基体间的界面结合性能是决定薄膜性能的关键因素.如何提高膜-基界面结合强度,保证刀具正常使用寿命,已成为金刚石涂层工具产业化亟待解决的主要问题.文章综述了影响金刚石薄膜附着性能的主要因素...
  • 5. 面向化学气相沉积生长单晶金刚石的高导热嵌入型基片托盘设计及其高质量生长工艺研究
    作者： 唐永炳 杨扬 牛卉卉 石磊 蒋春磊 谷继腾
    刊名： 集成技术
    发表期刊： 2017年4期
    页码:  38-48
    摘要： 针对高功率密度微波等离子体化学气相沉积法生长单晶金刚石过程中,金刚石籽晶表面温度容易发生漂移的问题,提出了一种新的基片托盘结构设计方法.基片托盘中间采用通孔结构,以避免籽晶底部与钼托盘的直接...
  • 6. 薄膜热膨胀系数测试技术研究
    作者： 唐永炳 石磊 蒋春磊 陈光海
    刊名： 集成技术
    发表期刊： 2017年4期
    页码:  49-60
    摘要： 热膨胀系数是薄膜的重要热学性能参数,也是薄膜热应力和残余应力计算分析过程中的关键数据.文章基于热诱导弯曲原理,分别采用单基片法和双基片法对氮化钛(TiN)和铝(Al)薄膜的热膨胀系数进行测试...
  • 7. 硼掺杂对微波等离子体化学气相沉积制备金刚石薄膜高择优取向生长的影响
    作者： 唐永炳 张文军 杨扬 谷继腾
    刊名： 集成技术
    发表期刊： 2017年4期
    页码:  61-69
    摘要： 硼(B)掺杂金刚石薄膜因其优异的电化学性能在电化学传感领域获得了广泛的应用.文章采用微波等离子体化学气相沉积法制备硼掺杂金刚石薄膜,通过硼/碳(B/C)比例和工艺参数的调节,成功制备了具备(...
  • 8. 金刚石薄膜的制备研究综述
    作者： 唐永炳 王陶 黄磊
    刊名： 集成技术
    发表期刊： 2017年4期
    页码:  70-79
    摘要： 金刚石薄膜具有优异的物理化学性质,在耐磨涂层、生物医学、薄膜微传感器、微机电系统等诸多领域有着广阔的应用前景.文章综述了近年来在金刚石薄膜领域研究的最新进展,着重介绍了目前主流的金刚石薄膜制...
  • 9. 热处理工艺对硬质合金表面金刚石薄膜附着性能的影响
    作者： 唐永炳 杨扬 谷继腾
    刊名： 集成技术
    发表期刊： 2017年4期
    页码:  80-88
    摘要： 文章针对提高硬质合金刀具金刚石涂层结合力问题,提出了一种热处理和酸处理相结合的预处理工艺,详细研究和分析了800~1000℃ 范围内,热处理温度变化与硬质合金刀具表面形貌、金刚石涂层质量、涂...

集成技术基本信息

刊名 集成技术 主编 樊建平
曾用名
主办单位 中国科学院深圳先进技术研究院  主管单位 中国科学院
出版周期 双月刊 语种
chi
ISSN 2095-3135 CN 44-1691/T
邮编 518055 电子邮箱 jcjs@siat.ac.cn
电话 +86-755-86392070 网址 http://jcjs.siat.ac.cn/ch/index.aspx
地址 深圳市南山区西丽深圳大学城学苑大道1068号

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