Ti和TiN薄膜的制备以及残余应力的测试方法研究

• 作者: 唐永炳 石磊 蒋春磊
• 来源期刊: 集成技术
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 残余应力 光杠杆法 正测法 背测法
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 页码范围: 20-28
• 页数: 9页
• 分类号: TG156
• 字数: 3205字
• 语种: 中文

摘要

基底曲率半径法是一种测量薄膜残余应力的常用方法,其中的光杠杆法应用最为广泛.文章在SUS304基底上使用电弧离子镀法制备了不同厚度的钛(Ti)和氮化钛(TiN)薄膜,研究了薄膜的形貌、密度以及物相,基于光杠杆原理分别从正面(正测法)和反面(背测法)对两种薄膜样品镀膜前后基底的曲率半径进行了测量,采用Stoney公式计算薄膜残余应力.通过对比正测法和反测法的测试结果,结合薄膜形貌、密度以及晶体结构表征分析,对背测法的测试误差和适用范围进行了分析.研究结果表明,背测法测得的应力值低于正测法的测量结果,薄膜残余应力水平越高,背测法的测量结果与正测法越接近:当薄膜残余应力水平较高(>1 GPa)时,背测法结果可以如实反映薄膜的应力水平;但当薄膜应力水平较低(<1 GPa)时,背测法结果存在较大误差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石磊	中国科学院深圳先进技术研究院	83	775	17.0	24.0
2	唐永炳	中国科学院深圳先进技术研究院	13	20	3.0	3.0
3	蒋春磊	中国科学院深圳先进技术研究院	5	9	2.0	2.0