纳米技术与精密工程(英文)期刊
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纳米技术与精密工程(英文)

Nanotechnology and Precision Engineering
曾用名: 纳米技术与精密工程

CSTPCD

影响因子 0.4753
本刊是纳米技术与精密工程领域专业性学术期刊,主要刊登纳米技术、微机电系统、精密加工和精密测量方面用中、英文撰写的具有创造性的科学研究论文、研究报告以及重要学术问题讨论和综述等.办刊宗旨在于反映国内外该领域及相关领域的重要科学研究成果,促进学术交流和科学技术发展.读者对象为国内外理工科高等院校师生、科研人员和广大工程技术工作者.欢迎国内外作者踊跃投稿. 本刊为美国《工程索引》EI和中国科技论... 更多
主办单位:
天津大学 中国微米纳米技术学会
ISSN:
1672-6030
CN:
12-1458/03
出版周期:
季刊
邮编:
300072
地址:
天津市南开区卫津路92号
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  • 作者: 周法权 周瑞 李宁 褚巍 赵学增
    发表期刊: 2009年2期
    页码:  147-154
    摘要: 为了解决微电子制造技术中纳米尺度半导体刻线边缘粗糙度(line edge roughness,LER)的测量问题,笔者提出了基于平稳小波变换的线边缘粗糙度分析方法.首先,使用原子力显微镜测量...
  • 作者: 万敏 苏伟 陈樟
    发表期刊: 2009年2期
    页码:  155-158
    摘要: 采用有限元方法模拟纳米压痕过程的影响因素较多,依据正交实验原理提出了确定这些影响因素重要性的一种新方法.选取石英玻璃材料的屈服应力、加工硬化指数以及纳米压头的尖端半径为影响因素,由于材料与压...
  • 作者: 娄文忠 宋仁龙 李伟华 闫晓东 马保政
    发表期刊: 2009年2期
    页码:  159-162
    摘要: 笔者将电场测试集成微系统应用于安全领域中的近场测试中.通过对电容理论的扩展以及对不同类型电容模型的理论分析,证实了其原理的可行性.在对内交叉电极和螺旋型电极比较的基础上,设计选用了有良好效果...
  • 作者: 姜澄宇 常洪龙 秦伟 苑伟政 薛亮 袁广民
    发表期刊: 2009年2期
    页码:  163-167
    摘要: 针对MEMS陀螺、加速度计、磁强计组合的姿态确定系统,笔者设计了用于微小型飞行器姿态估计的四元数扩展卡尔曼滤波算法.取姿态误差四元数和陀螺随机漂移构建滤波状态向量,通过误差四元数微分方程和陀...
  • 作者: 姚建铨 张帆 王瑞康 马振鹤 龚强
    发表期刊: 2009年2期
    页码:  168-172
    摘要: 为了减少频域光学层析成像(spectral domain optical coherence tomography,SDOCT)中的噪声干扰,应用相位偏移干涉技术消除SDOCT系统中的自相关...
  • 作者: 唐洁影 宋竞 陈龙龙
    发表期刊: 2009年2期
    页码:  173-177
    摘要: 为了提高检测微机电系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)结构谐振频率的准确性,笔者针对湿汽对MEMS微结构影响的问题,进行了实验设计,并分析了ME...
  • 作者: 刘理天 曲炳郡 黄丽娜
    发表期刊: 2009年2期
    页码:  178-181
    摘要: 采用脉冲激光沉积技术在Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上制备出多晶La0.67Sr0.33MnO3(LSMO)薄膜,对其电脉致非挥发可逆电阻开关特性进行研究.结果表明,Ag/LSMO...
  • 作者: 唐飞 杨波 王晓浩
    发表期刊: 2009年2期
    页码:  182-185
    摘要: 设计并制作了一种PMMA(polymethyl methacrylate)材料的微流控检测芯片,将外界气体驱动液体用于实际水样的分析和检测.利用精密加工的方法加工出芯片的整体尺寸为86 mm...
  • 作者: 杉山进 李以贵
    发表期刊: 2009年2期
    页码:  186-189
    摘要: 高分子材料,如甲基丙烯酸甲酯(polymethyl methacrylate,PMMA),由于其价格相对低廉和容易加工,在集成电路和MEMS研究中受到广泛的关注.本文提出了一种基于PMMA基...
  • 作者: 严晗 刘胜 宋晓辉 徐静平 甘志银
    发表期刊: 2009年3期
    页码:  191-194
    摘要: 通过金属有机物化学气相沉积方法在碳纳米管模板上生长氮化镓纳米线束.对所生长的纳米结构进行了扫描电镜和X射线能谱分析,结果显示氮化镓纳米晶体可以与碳纳米管形成纳米线束状复合物.纳米线柬状复合物...
  • 作者: 李晓艳 杨占红 王素琴 郭乔辉 黎泓波
    发表期刊: 2009年3期
    页码:  195-200
    摘要: 聚酰亚胺碳纳米纤维无纺布经双氧水在氮气氛中750℃活化,使其比表面积增大,从而改善其储电性能.通过透射电镜观察活性碳纳米纤维的尺寸、形貌和结构;采用次甲基蓝水溶液吸附法测定活化碳纳米纤维的比...
  • 作者: 秦玉香 胡明
    发表期刊: 2009年3期
    页码:  201-204
    摘要: 利用电泳法将碳纳米管(CNTs)沉积在表面镀覆了50~150 nm Ti薄膜的Si基底表面,900℃真空退火后形成了具有良好场发射性能的Ti-CNTs薄膜阴极.利用X射线衍射和扫描电子显微镜...
  • 作者: 姚金玖 赵宏伟 赵宏健 黄虎
    发表期刊: 2009年3期
    页码:  205-210
    摘要: 采用纳米压痕测试技术对一种钠钙硅酸盐玻璃进行微观力学性能的测试分析.测得加栽-卸载过程载荷与压入深度曲线,发现被测玻璃的最大压深、残余深度和弹性回复量随最大加载力的增加而增大,但其相对弹性回...
  • 作者: 傅星 胡小唐 胡晓东 陈治
    发表期刊: 2009年3期
    页码:  211-215
    摘要: 基于机器微视觉的微机电系统(MEMS)动态测试系统,提出了一种分形小波变换亚像素检测技术提取MEMs运动轨迹算.法_该算法结合电耦合器件(CCD)成像机理,利用图像的分形参数进行随机分形插值...
  • 作者: 刘波 姜德生 张丰涛 王俊杰
    发表期刊: 2009年3期
    页码:  216-220
    摘要: 阐述了一种带温度补偿、基于薄壁圆筒结构的高量程光纤光栅(FBG)压力传感器.薄壁圆筒直接作为弹性体,在压力作用下产生轴向位移来拉动压力敏感光纤以实现压力传感;通过被动温度补偿和残留温度效应主...
  • 作者: 张国军 张开瑞 张斌珍 薛晨阳 陈尚
    发表期刊: 2009年3期
    页码:  221-227
    摘要: 提出了一种纤毛式微机电系统(MEMS)矢量水声传感器的仿生组装技术.期望结合MEMS工艺和仿生组装工艺技术,解决复杂结构的仿生制造问题.文中简单介绍了仿生学理论以及定向探测机理.采用MEMS...
  • 作者: 李华 石庚辰
    发表期刊: 2009年3期
    页码:  228-232
    摘要: 根据微机电系统(MEMS)加工工艺特点和初始位置定位机构的设计要求,设计了两种MEMS初始位置定位机构的结构方案.通过力学分析,求出了定位机构解除定住所需要克服的阻力计算公式,用ANSYS仿...
  • 作者: 张明 毋正伟 王军波 陈德勇 陈李
    发表期刊: 2009年3期
    页码:  233-238
    摘要: 提出了一种新型的电磁式微机械振动环陀螺结构.为优化陀螺的设计和提高陀螺的性能,在推导微机械陀螺集总参数模型的基础上,建立了电磁式微机械振动环陀螺的数学模型,得到了影响陀螺灵敏度的因素,据此对...
  • 作者: 刘晓为 许鹏 郭玉刚 陈伟平 陈宏
    发表期刊: 2009年3期
    页码:  239-244
    摘要: 为了实现微机械陀螺的频率匹配和双级解耦,提出了一种全对称双级解耦结构体硅微机械陀螺.该陀螺结构完全对称,容易实现驱动和检测模态谐振频率的匹配,提高系统灵敏度.驱动和检测方向的主要阻尼均为滑膜...
  • 作者: 万柏坤 周仲兴 张希 戴岳刚 明东 王威杰 胡勇
    发表期刊: 2009年3期
    页码:  245-248
    摘要: 设计了一种可用于步行器精密测力系统标定的3层反向传播人工神经网络模型,以测力系统12导联应变片电桥输出电压作为网络输入向量,6个负载分量力作为网络输出向量,并通过目标误差下的绝对误差和对比确...
  • 作者: 孙立宁 张世忠 曲东升 荣伟彬
    发表期刊: 2009年3期
    页码:  249-253
    摘要: 现有的基于高精度测微仪的预对准方法需交换晶圆才能够完成操作.为提高其效率,介绍了一种无需晶圆交换的预对准方法.该方法采用缺口定向先于圆心定位的预对准顺序,通过一维旋转和二维直线平移完成晶圆的...
  • 作者: 关堂兵 张顺起 缪辉 贺喜 赵会娟 阎长斐
    发表期刊: 2009年3期
    页码:  254-258
    摘要: 针对层状组织体的光学参数(吸收系数和散射系教)快速重枸问题展开讨论.发展了基于漫反射测量的适合于胃、宫颈等内脏薄层状组织光学参数重构的微扰蒙特卡罗模拟.数值模拟结果显示,该方法能够有效地利用...
  • 作者: 席宁 王越超 缪磊 董再励 袁帅
    发表期刊: 2009年3期
    页码:  259-264
    摘要: 针对原子力显微镜(AFM)纳米成像中存在的失真问题,研究了通过探针建模实现AFM扫描图像重构方法.目前探针盲建模算法在重构AFM图像时存在较大误差,因此提出基于探针模型预估计的AFM扫描图像...
  • 作者: 宁欣 苏建修 郭东明 陈锡渠 高虹
    发表期刊: 2009年3期
    页码:  265-269
    摘要: 为了掌握化学机械抛光(CMP)过程中硅片表面材料的去除行为,根据CMP过程中硅片表面材料的磨损行为,建立了硅片CMP时的材料去除率构成成分模型,设计了不同成分的抛光液并进行了材料去除率实验,...
  • 作者: 孙涛 宗文俊 李旦 程凯 董申
    发表期刊: 2009年3期
    页码:  270-274
    摘要: 为了研究超精密切削单晶硅过程中金刚石刀具后刀面发生急剧磨损的机理,对单晶硅(111)晶面进行了超精密切削实验,并采用X射线光电子能谱分析仪对单晶硅已切削表面进行化学成分分析.实验结果表明:切...
  • 作者: 任黎明 刘明 安南 朱效立 谢常青 赵珉 陈宝钦
    发表期刊: 2009年3期
    页码:  275-278
    摘要: 为了满足电子束光刻(EBL)对高分辨率、性能优秀抗蚀剂的需求,研究了将Calixarene衍生物作为电子束抗蚀剂在胶液配制、电子束曝光及显影等工艺过程中的相关技术.其中电子束曝光实验在JEO...
  • 作者: 孙宝元 张军 张忠华 石银辉 钱敏
    发表期刊: 2009年3期
    页码:  279-284
    摘要: 基于经典压电学理论,分析了外电场作用下多次压电效应的产生与压电体所处边界条件的关系,阐述了其产生过程,并推导出二次正、三次逆压电效应的输出结果与外加电场的输入、输出关系.利用有限元软件ANS...
  • 作者: 郑化桂 高理升
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  285-289
    摘要: 为了改进三聚钒酸锂作为锂离子电池正极材料的电化学性能,以LiN03、LiCI和NH4VO3作为反应原料,通过一种简单的低温熔盐合成方法(LT-MSS)在250℃温度条件下制备得到带状LiV3...
  • 作者: 张勇 张玉萍 晏善成 王海涛 肖忠党
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  290-294
    摘要: 用超声的方法合成了硒纳米线.场发射扫描电镜(FESEM)结果表明产物的形貌比较均一.产物的结构通过透射电镜(TEM)和X.射线衍射仪(XRD)进行了进一步表征.TEM和XRD光谱的结果证明了...
  • 作者: 于灵敏 朱长纯
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  295-299
    摘要: 为了提高ZnO纳米线的酒敏特性,利用紫光激发经浸渍法获得Ag修饰的ZnO纳米线.利用扫描电子显微镜(SEM),X射线衍射仪(XRD)对修饰后的ZnO纳米线进行了晶体结构和形貌的表征.结果表明...

纳米技术与精密工程(英文)基本信息

刊名 纳米技术与精密工程(英文) 主编 胡小唐
曾用名 纳米技术与精密工程
主办单位 天津大学 中国微米纳米技术学会  主管单位 中华人民共和国教育部
出版周期 季刊 语种
eng
ISSN 1672-6030 CN 12-1458/03
邮编 300072 电子邮箱 namijishu@tju.edu.cn
电话 022-27892181 网址 http://nmjsyjmgc.tjujournals.com/
地址 天津市南开区卫津路92号

纳米技术与精密工程(英文)评价信息

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