AFM扫描图像重构算法的改进

• 作者: 席宁 王越超 缪磊 董再励 袁帅
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜 多孔铝薄膜 探针盲建模 数学形态学 扫描图像
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 精密测量
• 页码范围: 259-264
• 页数: 6页
• 分类号: O793|TN16
• 字数: 3200字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2009.03.014

摘要

针对原子力显微镜(AFM)纳米成像中存在的失真问题,研究了通过探针建模实现AFM扫描图像重构方法.目前探针盲建模算法在重构AFM图像时存在较大误差,因此提出基于探针模型预估计的AFM扫描图像重构方法.该方法采用分区探针针尖建模,并通过基于该探针模型的反卷积运算实现AFM扫描图像重构,获得比较接近真实形貌的AFM扫描图像.文中介绍了算法的具体步骤.通过仿真和实验结果证明,该方法能够有效降低AFM图像重构时引入的误差,得到的图像更能反映样品表面真实的形貌.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王越超	中国科学院沈阳自动化研究所国家机器人学重点实验室	153	3040	30.0	48.0
2	董再励	中国科学院沈阳自动化研究所国家机器人学重点实验室	73	1005	17.0	29.0
3	席宁	中国科学院沈阳自动化研究所国家机器人学重点实验室	33	191	9.0	13.0
5	袁帅	中国科学院沈阳自动化研究所国家机器人学重点实验室	23	126	7.0	11.0
9	缪磊	中国科学院沈阳自动化研究所国家机器人学重点实验室	10	77	5.0	8.0