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微纳电子技术期刊
出版文献量（篇）
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16974

微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名： 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
石家庄市179信箱46分箱
出版文献量（篇）
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  • 1. 碳纳米管晶体管
    作者： 何尧 王太宏
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年12期
    页码:  1-14
    摘要： 随着传统的硅材料加工技术发展到极限,寻找替代硅的材料已迫在眉睫.碳纳米管因其优良的性能将成为替代硅的理想材料.本文介绍了以碳纳米管为基础的场效应晶体管的工作原理以及独特性能.与传统的金属-氧...
  • 2. 近场光学存储器
    作者： 贾正根
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年12期
    页码:  15-20
    摘要： 近场光学存储器采用了纳米高新制作技术,具有极高的读出速度和极高的存储密度.本文介绍了近场光学"头"、近场光学记录方法、记录机理和处理方法以及T比特光盘的制造技术和结构.
  • 3. 超声化学法合成金属硫族半导体纳米材料
    作者： 朱俊杰
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年12期
    页码:  21-27
    摘要： 随着纳米科技的发展,合成纳米材料的新方法层出不穷.超声化学方法合成纳米材料近年来得到了飞速的发展,引起了科学界越来越多的关注.本文从超声化学的基本原理和特点出发,简要介绍了近年来超声化学法在...
  • 4. 能够防止"液体桥"粘连的新型硅溶片工艺
    作者： 刘彦青 吕苗 徐爱东 胡小东 郭贺军
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年12期
    页码:  28-31，35
    摘要： 硅溶片工艺用于制造MEMS惯性传感器[1].能够实现高深宽比、导电性好的微机械结构.我所采用这种工艺制造出多种MEMS器件,包括加速度计和陀螺等.但该工艺用于制造垂直动作结构如Z轴加速度计和...
  • 5. MEMS薄膜断裂强度测试结构
    作者： 梅年松 黄庆安
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年12期
    页码:  32-35
    摘要： 多晶硅断裂强度是MEMS器件极限工作的主要参数,也是MEMS CAD数据库建立的重要方面之一,在微小尺寸的情况下断裂强度的测试方法与大尺寸时有很大的不同,测试结果会受到很多因素的影响.本文总...
  • 6. 纳米印刷光刻技术
    作者： 姚汉民 李展 石建平 陈旭南 陈献忠
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年12期
    页码:  36-39
    摘要： 介绍了纳米结构制作的一种新方法--纳米印刷光刻的基本原理、总体方案.该技术与其它微刻印技术相比,具有成本低、生产效率高、可批量生产、工艺过程简单等优点.介绍了SiC模板的制作方法、用纳米印刷...
  • 7. 纳米操作系统及其关键技术
    作者： 嵇国金 王磊 马奎
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年12期
    页码:  40-43
    摘要： 纳米技术是21世纪的热点技术,它的基础技术--纳米操作技术是能够精确地改变、控制原子、分子及纳米尺度器件的技术.本文系统介绍了纳米操作系统的组成及其关键技术.给出了纳米操作系统的纳米操作器、...

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

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期刊荣誉
1. 俄罗斯《AJ》收录
2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

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