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微纳电子技术期刊
出版文献量（篇）
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16974

微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名： 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
石家庄市179信箱46分箱
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
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  • 1. 微加工中的聚焦离子束直接写入技术
    作者： Ampere A.TSENG 叶雄英 周兆英 王晓浩 苏才钧
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2003年11期
    页码:  1-8
    摘要： 概述了聚焦离子束直接写入、离子研磨、离子注入及离子沉积技术.介绍了利用聚焦离子束技术在镀金硅片上研磨出的图案及制作出的各种纳米结构.聚焦离子束诱导沉积技术为将在各种科学工程领域应用的多种微结...
  • 2. 热释电薄膜单片式非致冷红外焦平面阵列的研究
    作者： 刘少波 刘梅冬 李艳秋
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2003年11期
    页码:  9-12
    摘要： 采用改进的溶胶-凝胶(sol-gel)技术,在Pt/Ti/SiO2/Si3N4/SiO2/Si基片上研制出具有优良热释电性能的BST,PLT和PZT铁电薄膜,它们是制备单片式非致冷红外焦平面...
  • 3. 纳米电子技术在军事领域的应用
    作者： 廖瑞华 王远
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2003年11期
    页码:  13-17
    摘要： 详细阐述了纳米电子技术及微机电技术在军事计算机、微小卫星、飞机侦察和干扰、导航制导、武器装备、单兵系统等军事领域的应用前景.介绍了部分军事强国在纳米科技领域的发展和部署状况,分析了我国纳米科...
  • 4. 微尺度热传导理论及金属薄膜的短脉冲激光加热
    作者： 宋亚勤 张元冲 徐红玉 王秋军
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2003年11期
    页码:  18-23
    摘要： 概述了微尺度热传导理论的几种模型及其求解方法.以金属薄膜的短脉冲激光加热为例,分析了固体材料在微尺度条件下的热响应特征,主要包括短脉冲激光加热条件下金属薄膜中的热平衡时间、薄膜中热传递的波动...
  • 5. 纳米材料涂层的界面分析
    作者： 康春霞 贾建援 黄新波
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2003年11期
    页码:  24-26,29
    摘要： 采用真空熔烧法制备了钴基合金-碳化钨复合纳米材料涂层,利用电子探针测得了界面两侧元素的浓度分布,结合扩散动力学计算出各合金元素的原子扩散系数.分析了元素扩散对复合纳米材料涂层的显微组织、显微...
  • 6. 管式电炉合成氮化镓晶粒的研究
    作者： 李秀琴 薛成山 魏琴琴 黄萍
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2003年11期
    页码:  27-29
    摘要： 以Ga2O3为Ga源,氨气(NH3)为N源,通过氮化反应合成了高质量的GaN晶粒.用XRD,FTIR和TEM对生成产物的组分、结构进行了研究.结果表明,用管式电炉合成的GaN为多晶体,属六方...
  • 7. μTM技术在MEMS工艺中的应用
    作者： 李金 樊华 郑小林 陈默
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2003年11期
    页码:  30-33
    摘要： 介绍了软光刻技术中的一项关键技术--微传递成模(μTM),阐述了其特点、不足及其基本的工艺流程.最后通过介绍其在加工Scottky二极管阵列和光波导耦合腔中的应用,说明μTM在微加工技术中具...
  • 8. IH工艺的发展及应用
    作者： 孔祥东 尹明 张玉林
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2003年11期
    页码:  34-39
    摘要： 介绍了IH系列立体光刻技术.使用该系列技术可以加工出具有高深宽比和复杂曲面的各种微结构,可以容易地加工出微可动部件、电子聚合物组合结构和不同聚合物的全聚合物结构,能较好地满足MEMS发展的需...
  • 9. Au/Fe磁性多层膜在离子束混合过程中的巨磁电阻效应在线研究
    作者： 李正孝 李波
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2003年11期
    页码:  40-42
    摘要： 在离子束混合条件下,在线研究了Au/Fe磁性多层膜转变为纳米颗粒膜过程中的巨磁电阻效应,发现了不同磁场强度下的离子束混合对巨磁电阻效应影响的初步规律,测量了不同注入剂量和磁场强度下的巨磁电阻...
  • 10. 原子力显微术应用于生物纳米结构表征与测量的研究进展
    作者： 王静 顾宁
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2003年11期
    页码:  43-46
    摘要： 对目前基于原子力显微术(AFM)研究纳米生物结构的发展作了简要地概述,特别注意到AFM对生物纳米结构的表征与测量具有重要的意义.本文介绍了纳米生物结构形貌的AFM表征、粘弹性的AFM测量以及...
  • 11. 国外纳米研究最新动向
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2003年11期
    页码:  47
    摘要：

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

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