微纳电子技术期刊
出版文献量(篇)
3266
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微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
出版文献量(篇)
3266
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  • 作者: 薛舫时
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2004年9期
    页码:  1-13
    摘要: 综述了GaN HFET研究中材料生长和工艺研究的新进展,介绍了器件向高频、大功率方向发展的现状及其应用前景,总结了优化器件性能和商品化问题中的二维场结构和电子态、纳米金属介质层、应变能带工程...
  • 作者: 姚飞 成步文 王启明 薛春来
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2004年9期
    页码:  14-21
    摘要: 回顾了Si1-xGex/Si HBT在几十年中的重要进展以及目前的研究现状.通过不同材料器件的对比表明,Si1-xGex/Si HBT在高频功率应用方面存在着巨大的优势,并将在未来无线通信和...
  • 作者:
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2004年9期
    页码:  21
    摘要:
  • 作者: 刘静 吕永钢
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2004年9期
    页码:  22-28
    摘要: 介绍了磁性微/纳米颗粒在肿瘤靶向热疗中的应用开发现状,展望了其发展前景.重点总结了不同尺度和种类磁性微/纳米颗粒的作用机理、制作方法和特点以及临床治疗效果.
  • 作者: 周少波 易新建 熊韬 王双保 陈四海
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2004年9期
    页码:  29-31,36
    摘要: 采用离子束溅射和退火工艺制备了一种新的相变型薄膜VO2.此种薄膜的方块电阻为120~148 kΩ,电阻-温度关系曲线显示该薄膜的相变温度接近室温.SEM分析表明,所制备的薄膜致密均匀.样品的...
  • 作者: 张万里 彭斌 蒋洪川 谌贵辉
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2004年9期
    页码:  32-36
    摘要: MEMS技术在未来的发展中有着重要的意义.本文介绍了MEMS微致动器和各类驱动模式的优缺点,并以微泵为例,详细比较了致动器的执行机制和原理.
  • 作者:
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2004年9期
    页码:  36
    摘要:
  • 作者: 孙建海 崔大付 王海宁 苏波
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2004年9期
    页码:  37-40,48
    摘要: 根据国内外发展的经验,从绝缘介质膜的制备、微桥膜内的残余应力到微桥膜的弹性系数这些影响驱动电压的关键因素出发,提出了一些新的微加工工艺和设计方法,为设计性能优良的RF-MEMS开关提供一种有...
  • 作者: 康西巧 石建平 罗先刚 陈旭南
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2004年9期
    页码:  41-43
    摘要: 在阐述投影成像光刻光瞳滤波技术原理与滤波器设计的基础上,详细分析研究了滤波成像光刻图形质量影响因素.指出影响图形质量的因素除了滤波器设计本身存在误差,主要还存在滤波器的制作误差、滤波器在成像...
  • 作者: 侯国宪 李惠军 赵国庆
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2004年9期
    页码:  44-48
    摘要: 介绍了集成电路TCAD虚拟工厂系统Taurus Workbench,基于CMOS工艺的特点,在Taurus Workbench环境下进行了深亚微米级n沟器件的核心参数优化.优化结果印证了新的...
  • 作者:
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2004年9期
    页码:  48
    摘要:

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

期刊荣誉
1. 俄罗斯《AJ》收录
2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

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