微纳电子技术期刊
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微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
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  • 作者:
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2011年7期
    页码:  468,477-478
    摘要:
  • 作者: 任永学 王晓燕 程义涛 邓海丽
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2011年7期
    页码:  469-471,476
    摘要: 介绍了用于连续高功率半导体激光器单条阵列的老化筛选系统,通过对积分球采集激光功率进行理论分析,确定了积分球内壳的参数.采用水冷积分球,实现了激光功率探测部分的冷却,同时解决了激光功率采集以及...
  • 作者: 任永学 安振峰 徐会武 杨红伟 王晓燕 闫立华
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2011年7期
    页码:  472-476
    摘要: 在激光二极管阵列泵浦高可靠固体激光器的研制和应用中,激光二极管阵列的寿命至关重要.通过搭建不完全匹配吸收固体激光寿命实时监测系统,实现了800 nm激光二极管阵列的寿命测试.实验对固体激光系...
  • 作者: 娄建忠 彭英才 江子荣 王峰 马蕾
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2011年8期
    页码:  481-488,493
    摘要: 纳米结构太阳电池在未来第三代太阳电池中具有潜在应用价值.首先,介绍了各种纳米结构光伏材料的优异物理特性.然后,着重评述了不同纳米结构太阳电池近年的研究进展.这些太阳电池包括具有带隙可调谐特性...
  • 作者: 吴洪江 张志国 武继斌 高学邦
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2011年8期
    页码:  489-493
    摘要: GaAs单片集成电路具有体积小、质量轻和可靠性高等特性,已经成为微波领域重要的器件.采用MBE技术生长出双面掺杂AlGaAs/InGaAs PHEMT结构的外延材料,研制了高效率的GaAs ...
  • 作者: 张洋 文剑锋 汤怒江 范猛 都有为 钟伟
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2011年8期
    页码:  494-498
    摘要: 采用溶胶-凝胶结合氢气还原方法制备了Ni纳米颗粒,并用这种Ni纳米颗粒作为催化剂,通过催化裂解乙炔的方法在425℃制备了螺旋度较高且呈对称生长的螺旋碳纳米管.结果表明,,本方法简单、成本低、...
  • 作者: 华宁 吐尔迪 康雪雅 李传玲 李程峰
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2011年8期
    页码:  499-503,527
    摘要: 采用水热法结合短时间高温烧结,通过将前驱体pH值从3.00调节到9.00,制备出多种形貌的纯相LiFePO4.对所得产物进行了X射线粉末衍射(XRD)测试、扫描电子显微镜(SEM)表征以及电...
  • 作者: 田时开
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2011年8期
    页码:  504-506,510
    摘要: 将可膨胀石墨粉放入家用微波炉中进行微波辐照,使石墨粉发生燃烧膨胀,将燃烧的产物用无水乙醇超声后旋涂于硅片上,用扫描电子显微镜(SEM)观察其形貌,得到仅几纳米厚的准二维结构的纳米石墨片.对其...
  • 作者: 徐炎 杨慧 王三胜 褚向华 郭恺
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2011年8期
    页码:  507-510
    摘要: 介绍了非晶带产生巨磁阻抗(GMI)效应的机理,对Co基非晶带进行了磁场后退火处理,磁阻抗比得到显著提高,为179%.在此基础上设计了一种基于GMI效应的磁传感器电路,详述了各个环节的电路设计...
  • 作者: 吴健康 晁侃 陈波
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2011年8期
    页码:  511-515
    摘要: 在交流电渗流(ACEO)泵的研究中,一般忽略电极厚度的影响;而三维交流电渗流泵通过将电极厚度设计成台阶形式后,可以大大提高电渗流泵的流量.数值研究了电极台阶高度对三维交流电渗流泵流量的影响....
  • 作者: 王淑华
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2011年8期
    页码:  516-522
    摘要: MEMS传感器种类繁多,发展迅猛,应用广泛.首先,简单介绍了MEMS传感器的分类和典型应用.其次,对MEMS压力传感器、加速度计和陀螺仪三种最典型的MEMS传感器进行了详细阐述,包括类别、技...
  • 作者:
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2011年8期
    页码:  522,543-546
    摘要:
  • 作者: 任天令 刘理天 富迪 杨轶 陈豪
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2011年8期
    页码:  523-527
    摘要: 针对超声换能器阵列中阵元密度难以提升和工艺重复性差等问题,提出了一种基于硅-硅键合技术的MEMS压电超声换能器二维阵列的制备方法,并采用该方法制备了阵元间距小至150 μm的密排二维换能器阵...
  • 作者: 丁武昌 刘新宇 吴大卫 岳会会 武德起 贾锐 陈伟 陈宝钦 陈晨
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2011年8期
    页码:  528-535
    摘要: 首先,回顾了氧化铝钝化技术的发展历程,对制备氧化铝钝化薄膜的手段进行了总结,并且详细描述了氧化铝的材料性质和钝化的机理.其次,指出氧化铝薄膜的优点在于优异的场效应钝化特性和良好的化学钝化性质...
  • 作者: 刘志强 王淑妍 田桂中 陈涛
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2011年8期
    页码:  536-542
    摘要: 阐述了现有显微注射系统的结构组成与功能特征,介绍了自动化显微注射技术的国内外研究现状.分析了显微注射中各项自动化操作研究的技术组成及其优缺点,涉及图像处理、微机械加工、智能材料、自动控制、气...
  • 作者: 吴承龙 杨建红 盛晓燕 赵飞虎
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2011年9期
    页码:  549-552,557
    摘要: 传统方法在分析p-n结理论时仅仅关注了过剩少子的扩散电流,但是随着其浓度梯度的降低,扩散电流趋于零,则电流的连续性将难以理解.另外,如果仅仅考虑过剩少子的注入,则无法理解“中性区”的电中性(...
  • 作者: 张杨 李琦 王卫东 赵秋明
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2011年9期
    页码:  553-557
    摘要: 提出一种具有埋层低掺杂漏(BLD) SOI高压器件新结构.其机理是埋层附加电场调制耐压层电场,使漂移区电荷共享效应增强,降低沟道边缘电场,在漂移区中部产生新的电场峰.埋层电中性作用增加漂移区...
  • 作者: 付兴昌 潘宏菽
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2011年9期
    页码:  558-561,582
    摘要: 针对SiC功率金属半导体场效应晶体管如何在实现高性能的同时保证器件长期稳定的工作,从金属半导体接触、器件制造过程中的台阶控制、氧化与钝化层的设计及器件背面金属化实现等方面进行了分析;并结合具...
  • 作者: 徐志花 胡永红
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2011年9期
    页码:  562-567
    摘要: 以二氧化硅颗粒作为模板、金纳米颗粒作为表面晶种的方法制备了壳厚度可控的镍空心球.得到的空心镍纳米球是由似针状的面心立方的镍纳米颗粒构成的,碱溶液处理过程不影响镍纳米壳的形貌.高温处理显示镍空...
  • 作者: 张敏刚 杨利斌 柴跃生 熊杰 陈峰华
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2011年9期
    页码:  568-572,582
    摘要: 根据Ni-Mn-Ga合金靶材在磁控溅射过程中各元素溅射产额和靶材成分的不同,对薄膜成分的影响进行了分析,从而制备了马氏体转变温度高于室温的Ni55 Mn24.5 Ga20.5靶材.针对目前没...
  • 作者: 孙世菊 胡亦 韩伟
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2011年9期
    页码:  573-576
    摘要: 利用热丝化学气相沉积法,在真空腔中通过选择设定不同加热功率的热丝热解硅烷制备出一系列不同颗粒尺寸的硅纳米颗粒样品.透射电镜分析表明硅纳米颗粒具有结晶良好的纳晶结构.通过自然氧化钝化硅纳米颗粒...
  • 作者: 曹玉田 曹莹 朱军 李以贵 陈翔 陈迪
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2011年9期
    页码:  577-582
    摘要: 介绍了MEMS微针技术在微针制备工艺、力学和流体性能模拟以及透皮给药方面研究的近况.描述了硅、金属和聚合物材料的微针制备工艺,分析了这些材料在MEMS微针应用上的优缺点.比如硅微针制备工艺成...
  • 作者: 冯丽爽 周震 姚保寅 迟媛媛
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2011年9期
    页码:  583-590
    摘要: 对目前正成为研究热点的微光机电(MOEMS)加速度计的原理和结构特点进行分析,总结了MOEMS加速度计的分类和发展趋势.针对微-纳光栅加速度计,分析了基于干涉效应的微米光栅加速度计和基于亚波...
  • 作者: 唐小萍 徐锋 李兰兰 李金龙 盛壮 胡松 谢飞
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2011年9期
    页码:  591-595,605
    摘要: 基于模糊PID控制理论,介绍了步进扫描光刻机中工件台同步扫描的控制方法,并简要介绍了相关的控制理论基础知识,详细阐述了模糊控制器的制作过程和模糊规则的制定方法.另外针对同步扫描控制的难点,简...
  • 作者: 储向峰 吴芳辉 汤丽娟 白林山 董永平
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2011年9期
    页码:  596-599,605
    摘要: 在化学机械抛光过程中,抛光液的组成对抛光速率和表面质量有重要影响.利用自制抛光液,研究了在过硫酸铵体系抛光液中不同阴离子(硝酸根离子、溴离子、氯离子)对抛光速率的影响;采用动电位极化扫描技术...
  • 作者: 李东升 李源 王丽华 邹子英 雷李华
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2011年9期
    页码:  600-605
    摘要: 介绍了纳米标准样板在纳米量值溯源体系中的重要作用和制备纳米标准样板的基本要求,设计了适用于多用途的标准值为100 nm纳米台阶标准样板的特征结构和制备工艺流程,阐述了纳米测量装置的工作原理以...
  • 作者: 刘彦伯 周伟民 张剑平 张燕萍 张静 施利毅 王金合 赵彬
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2011年9期
    页码:  606-612
    摘要: 光刻胶是纳米压印的关键材料,其性能将影响压印图形复制精度、图形缺陷率和图形向底材转移时刻蚀选择性.提出了成膜性能、硬度黏度、固化速度、界面性质和抗刻蚀能力等压印光刻胶的性能指标.并根据工艺特...
  • 作者:
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2011年9期
    页码:  612-614
    摘要:
  • 作者: 刘书雷 刘长利 张学骜 沈雪石
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2011年10期
    页码:  617-622
    摘要: 纳米电子技术研究是提升国家核心竞争力和抢占科技制高点的战略选择,是我国实现信息科学技术跨越发展的主要途径.阐述了纳米电子技术研究的重要地位,梳理了纳米电子技术的主要研究方向和关键技术,重点研...
  • 作者: 张荣芬 张锗源 李绪诚 杨发顺 杨法明 邓朝勇
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2011年10期
    页码:  623-629,673
    摘要: 简要介绍了垂直双扩散功率场效应晶体管(VDMOS)的研究现状和发展历史.针对功率VDMOS器件击穿电压和导通电阻之间存在的矛盾,重点介绍了几种新型器件结构(包括沟槽栅VDMOS、超结VDMO...

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

期刊荣誉
1. 俄罗斯《AJ》收录
2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

微纳电子技术统计分析

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