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微纳电子技术期刊
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
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16974

微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名： 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
石家庄市179信箱46分箱
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
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  • 151. MEMS交叉梳齿光栅设计和优化
    作者： 姚军 庄须叶 张恒 汪为民 陶逢刚
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2011年12期
    页码:  787-791
    摘要： 采用MEMS技术设计和制造了一种由梳齿驱动器驱动的新型交叉梳齿光栅,同时优化了该光栅的驱动器结构,着重分析了优化驱动器结构对光栅机械特性和光学传感特性的影响,优化后的光栅相对于未优化时具有更...
  • 152. 基于SP4T开关的4位MEMS开关线式移相器设计
    作者： 张茜梅 柏鹭 秦燃 郑英彬 高杨
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2011年12期
    页码:  792-796,801
    摘要： 设计了一款4位MEMS开关线式移相器,由SP4T MEMS开关和微带传输线构成,工作于X波段.单刀四掷(single pole 4 throw,SP4T)开关用于切换两条不同电长度的信号通道...
  • 153. Si0.2Ge0.8/Ge异质结的离子束辅助固相外延生长
    作者： 屠海令 常青 徐文婷 肖清华
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2011年12期
    页码:  797-801
    摘要： 采用离子束辅助固相外延技术,在Ge基片上制备了SiGe/Ge异质结.利用高分辨透射电镜(HRTEM)、能量散射谱(EDX)、喇曼散射谱对SiGe/Ge异质结的形貌、成分和结构等物理性质进行了...
  • 154. 基于高效太阳电池的光诱导镀技术
    作者： 刘新宇 叶甜春 吴大卫 孟彦龙 武德起 贾锐 邢钊 陈宝钦
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2011年12期
    页码:  802-808
    摘要： 介绍了光诱导镀(light-induced plating,LIP)应用于太阳电池的背景、发展历史及其工作原理.论述了光诱导镀技术对太阳电池性能的影响,并重点探讨了光诱导镀技术对太阳电池前表...
  • 155. 基于介电泳机理的金纳米颗粒传感器装配方法
    作者： 周磊 曲艳丽 杨洋 王淑娥 董再励
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2011年12期
    页码:  809-815
    摘要： 研究了一种基于介电泳机理的金纳米颗粒传感器装配方法.在分析介电泳工作原理的基础上,利用Comsol Multiphysics仿真软件,对平面微电极条件下所产生的空间电场进行了建模仿真,研究了...
  • 156. 300mm铜膜低压CMP速率及一致性
    作者： 刘效岩 刘玉岭 王辰伟 田雨 胡轶 邢少川
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2011年12期
    页码:  816-后插1
    摘要： 随着铜互连结构中低k介质的应用,要求CMP抛光过程中必须将压力减小到6.89 kPa以下,传统的化学机械抛光已不符合当前的工艺要求,如何兼顾超低压力下抛光速率和速率一致性成为关键问题.对30...

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

该刊被以下数据库收录
期刊荣誉
1. 俄罗斯《AJ》收录
2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

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