基于SP4T开关的4位MEMS开关线式移相器设计

• 作者: 张茜梅 柏鹭 秦燃 郑英彬 高杨
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 开关线式移相器 单刀四掷(SP4T) 开关 X波段
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 792-796,801
• 分类号: TH703|TN6
• 字数: 2149字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2011.12.008

摘要

设计了一款4位MEMS开关线式移相器,由SP4T MEMS开关和微带传输线构成,工作于X波段.单刀四掷(single pole 4 throw,SP4T)开关用于切换两条不同电长度的信号通道,即参考相位通道和延迟相位通道.每个SP4T开关包含4个悬臂梁接触式RF MEMS串联开关.介绍了4位MEMS开关线式移相器的总体设计,并给出了其关键部件SP4T开关和相位延迟线的设计细节.采用ADS软件仿真分析了器件的电气性能.仿真分析得到:SP4T开关在中心频率10 GHz处的回波损耗为-36 dB,插入损耗约为0.18 dB;移相器各相位的回波损耗均低于-15dB,插入损耗为-0.8～-0.4 dB.这种射频MEMS移相器具有小型化、低功耗和高隔离度的优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高杨	中国工程物理研究院电子工程研究所	150	833	13.0	19.0
2	张茜梅	中国工程物理研究院电子工程研究所	8	29	3.0	5.0
3	郑英彬	中国工程物理研究院电子工程研究所	22	115	7.0	9.0
4	秦燃	西南科技大学信息工程学院	7	17	3.0	3.0
5	柏鹭	西南科技大学信息工程学院	6	25	3.0	4.0