微纳电子技术期刊
出版文献量(篇)
3266
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16974

微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
出版文献量(篇)
3266
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  • 作者: 吴巨
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年4期
    页码:  213-221
    摘要:
  • 作者: 李政操 蔡理 黄宏图
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年4期
    页码:  222-227
    摘要: 介绍了一种量子元胞自动机(QCA)可编程逻辑阵列结构,该结构可用于实现量子元胞自动机大规模可编程逻辑电路,采用QCADesigner仿真软件研究了元胞缺失、移位缺陷和未对准缺陷对可编程逻辑阵...
  • 作者: 刘伟丰 朱长飞 杜清扬 江国顺 魏铭
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年4期
    页码:  228-232
    摘要: 采用热注入法制备了Cu2ZnSnS4 (CZTS)纳米颗粒,并形成高分散、稳定的“墨水”,采用滴注方法形成CZTS前驱体薄膜.利用X射线衍射(XRD)、拉曼光谱(Raman)、透射电子显微镜...
  • 作者: 冉曾令 唐斌 张强 张智 施太和 罗强
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年4期
    页码:  233-236,241
    摘要: 基于密度泛函理论(DFT)的第一性原理方法,在广义梯度近似下计算了Fe中掺Cr或Ni时S原子在Fe (100)面吸附的结构和电子性质,并计算了其分子轨道和吸附能.结果表明:S原子均是吸附在H...
  • 作者: 张晓森 彭瑞琴 李玉国 翟冠楠 郑学垒
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年4期
    页码:  237-241
    摘要: 采用磁控溅射法,以Si粉和溅金Si (111)为原料,加入C粉,在Si (111)衬底上制备无定形SiO2纳米线.首先,在Si (111)衬底上分别溅射厚度为18和36 nm的Au.然后,在...
  • 作者: 丑修建 张亚婷 熊继军 郭涛
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年4期
    页码:  242-247
    摘要: 首先介绍了微能源的几种类型,比较了不同类型微能源的优缺点.振动式微能源具有体积小、重量轻、能量密度高、寿命长、无污染和对环境适应性强等优点,详细描述了静电转换型、电磁转换型和压电转换型三种振...
  • 作者: 吴东平 张卫 朱伦 朱志炜
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年4期
    页码:  248-253
    摘要: 利用压电材料制作的器件采集环境中的振动能量,并转化为电能的微尺度器件正日益受到广泛关注.通过有限元仿真分析,研究了新颖的垂直式纳米线阵列结构(VING)和常见的压电悬臂梁结构的能量收集性能....
  • 作者: 冯洁 刘庆胜 周勇 郅晓
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年4期
    页码:  254-257
    摘要: 采用磁控溅射、光刻、离子束刻蚀和剥离工艺等工艺和方法,制备了多层膜结构的巨磁阻(GMR)生物传感器件,并利用此种传感器来检测甲胎蛋白.在传感器表面通过生物处理固定甲胎蛋白单克隆抗体(McAb...
  • 作者: 景玉鹏 王磊 郭新贺
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年4期
    页码:  258-262
    摘要: 简要介绍了随着工艺节点的缩小,传统RCA清洗方法在硅片清洗工艺中的局限性和弊端,进而提出了以CO2为介质的新型干冰微粒喷射清洗方法.从CO2的物理特性出发,论述了CO2流经喷枪后形成干冰微粒...
  • 作者: 丑修建 张文栋 杜妙璇 耿文平
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年4期
    页码:  263-267,279
    摘要: 采用溶胶-凝胶技术,在Pt (111) /Ti/SiO2/Si (100)基底上制备Pb0.97La0.02(Zr0.95Ti0.05)O3反铁电厚膜材料,研究了单步和多步退火工艺对反...
  • 作者: 刘顺东 崔海航 张鸿雁 沈萍
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年4期
    页码:  268-279
    摘要: 对基于连续型、时变型及与其他力场联用的三类介电电泳颗粒分离技术进行了综述.分析表明,连续型介电电泳的分离效果较好,但形式较为单一,一般为二元或顺序分离;时变型介电电泳则可以结合不同特点的分离...
  • 作者: 刘玉岭 牛新环 韩丽丽
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年4期
    页码:  280-284
    摘要: 依据铝的电化学腐蚀特性,阐明了碱性条件下铝化学机械抛光(CMP)的机理.由于铝的硬度较低,在抛光过程中容易产生微划伤等缺陷,因此首先探索出适宜铝化学机械抛光的低压条件(4 psi,1 psi...

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

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2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

微纳电子技术统计分析

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