微纳电子技术期刊
出版文献量(篇)
3266
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16974

微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
出版文献量(篇)
3266
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16974
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  • 作者: 吕利 李欣幸 秦华 苏丽娜 顾晓峰
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年10期
    页码:  617-622
    摘要: 单电子晶体管可用作超灵敏电荷计进行高灵敏电荷检测.首先建立了单电子晶体管电荷检测的电路模型,阐释了其电荷检测机制;然后利用COMSOL和MATLAB软件对检测过程进行了模拟研究,分析了不同电...
  • 作者: 吴强 杨博 牟潇野 白一鸣 辛雅焜 陈吉堃 陈诺夫 黄添懋
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年10期
    页码:  623-627
    摘要: 利用磁控溅射系统在玻璃衬底上制备出具有玻璃/铝/非晶硅的多层膜结构样品,然后在管式退火炉中以一定的温度退火,使非晶硅晶化形成多晶硅薄膜籽晶层.扫描电子显微镜(SEM)及光学显微镜测试表明,铝...
  • 作者: 初冰 卞宝安 吴亚敏 王利光
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年10期
    页码:  628-633
    摘要: 通过基于密度泛函理论和非平衡态格林函数的第一性原理计算,研究了CoFe/Cu/MgAl2O4 (001)/CoFe磁性隧道结(MTJ)的隧穿磁电阻(TMR)效应.结果显示,在一个完整的MgA...
  • 作者: 王强 马锡英
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年10期
    页码:  634-639
    摘要: 硅烯是一种硅原子呈蜂窝状排列的二维纳米材料.主要介绍了硅烯分别在Ag(111)衬底、Ir(111)衬底和ZrB2衬底表面生长的机理和研究成果,并讨论了在不同衬底上制备硅烯的异同.同时还简要地...
  • 作者: 余雄江 吕泽 徐进良 金武
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年10期
    页码:  640-648,672
    摘要: 制作了一种交叉排布微针肋的硅基微通道,通道的长、宽和高分别为20 mm,5.5 mm和75 μm,通道中的微针肋是截面为15 μm×15 μm的正方形立柱.研究了水在该通道内进行沸腾两相流动...
  • 作者: 胡延东 袁君凯
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年10期
    页码:  649-654
    摘要: 基于直流介电泳技术,采用一种具有三维突扩、突缩截面的新型毛细管式微通道,对直径分别为8和12μm的聚苯乙烯微粒在通道中的分离进行数值模拟.分析了微粒受到的电渗力、电泳力和介电泳力对其运动轨迹...
  • 作者: 刘友江 孔德义 张乐华 张晓天 朱利凯 王泓伟 陈池来
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年10期
    页码:  655-658,683
    摘要: 温度是高场不对称离子迁移谱(FAIMS)检测的一个重要环境参数.常温常压下,以6种常见的挥发性有机物(丙酮、乙醇、异丙醇、异丁醇、邻二甲苯和对二甲苯)为样品,研究了载气湿度对紫外灯高场不对称...
  • 作者: 岳义 相文峰 董佳丽 贺卓 赵嵩卿 赵昆
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年10期
    页码:  659-665
    摘要: 基于国内外薄膜材料杨氏模量测试的最新研究进展,系统地综述了近年来薄膜材料杨氏模量的测量方法,包括共振法、纳米压痕法、动态膨胀法以及视觉图像跟踪系统与微拉伸复合法等,并对这些测试方法的基本原理...
  • 作者: 董会杰 辛忠 陆馨
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年10期
    页码:  666-672
    摘要: 纳米压印需采用压印胶进行图案转移,作为压印技术的关键材料,压印胶的性能直接影响到米压印的质量.根据压印技术的工艺特点对压印胶进行了分类,介绍了纳米压印用热压印胶和紫外压印胶的发展研究现状和性...
  • 作者: 何渝 冯金花 李艳丽 胡松
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年10期
    页码:  673-678
    摘要: 根据无掩模光刻机的整体结构和工作流程,开发了一款适用于DMD无掩模光刻机的曝光软件.对系统进行了整合,运用开发环境VS2010实现了各个独立的模块的设计.通过串口通信的方式与下位机建立连接,...
  • 作者: 康强 杨瑞霞 石双振
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年10期
    页码:  679-683
    摘要: 在不同氢气流量下,以丙酮为碳源,采用热丝法化学气相沉积在p型(111)单晶硅衬底上制备了金刚石薄膜.用金相显微镜、X射线衍射以及原子力显微镜对金刚石薄膜表面形貌以及质量进行了表征,结果表明:...

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

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1. 俄罗斯《AJ》收录
2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

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