纳米压印用压印胶的研究进展

• 作者: 董会杰 辛忠 陆馨
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米压印 紫外压印胶 热压印胶 脱模性 表面能
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 666-672
• 分类号: TN305.7
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2014.10.009

摘要

纳米压印需采用压印胶进行图案转移,作为压印技术的关键材料,压印胶的性能直接影响到米压印的质量.根据压印技术的工艺特点对压印胶进行了分类,介绍了纳米压印用热压印胶和紫外压印胶的发展研究现状和性能优缺点,分析了目前压印胶存在的主要问题,并指出压印胶的研究主要是提高压印胶的脱模性能、固化速率以及简化工艺,主要列举了含氟硅类压印胶、双表面能压印胶的性能特点,并展望了未来的发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	辛忠	华东理工大学化学工程联合国家重点实验室	112	958	16.0	27.0
2	陆馨	华东理工大学化学工程联合国家重点实验室	20	171	7.0	12.0
3	董会杰	武汉纺织大学化学与化工学院	3	7	2.0	2.0