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微纳电子技术2017年第9期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
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总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年9期页码:摘要： 碰撞电离晶体管(IMOS)在高速、低功耗领域具有很好的应用前景.以优化传统IMOS的工作电压为目的,介绍了一种基于绝缘体上Ge的碰撞电离晶体管(GOI IMOS),利用Synopsys公司的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年9期页码:摘要： 研究一种基于电磁驱动微光机电系统(MOEMS)光开关阵列的串联集成波长选择开关结构,经过理论分析与计算,得出螺旋形线圈在相同电流密度下相比于八边形和四边形线圈能得到更大的电磁力;通过模态分析...
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5. 核磁共振陀螺仪研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年9期页码:摘要： 核磁共振陀螺(NMRG)是基于量子原理的陀螺仪,具有高精度、体积小、抗干扰能力强等特点,是陀螺仪发展的重点方向之一.简要回顾了核磁共振陀螺的发展历史,介绍了20世纪有代表性的研究成果.叙述了...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年9期页码:摘要： 磁致伸缩振动能量采集器作为一种新形式的能量采集器,具有高机电转化效率、高鲁棒性和低输出阻抗等特性.阐述了磁致伸缩式振动能量采集器的基本工作原理,按照其基本结构和工作方式将其归纳为直驱式和悬臂...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年9期页码:摘要： 利用静电纺丝法制备了氧化钨(WO3)纳米纤维.使用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对样品的物相结构和微观形貌进行表征.分析结果表明:制备的WO3纳米纤维由众多纳米颗粒组装而成...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年9期页码:摘要： 梳齿式电容加速度计对梳齿的形貌有很高的要求,如需要梳齿侧壁具有良好的垂直度和粗糙度等.利用深硅刻蚀机对梳齿结构进行加工需要对刻蚀参数进行分析和调整.以SF6和C4F8为刻蚀气体,设定深硅刻蚀...
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10. CMP中TEOS去除速率的一致性刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年9期页码:摘要： 针对300mm正硅酸乙酯(TEOS)镀膜片在化学机械平坦化(CMP)过程中中心去除速率快而边缘去除速率慢的问题,研究了抛光头摆动位置、抛光头不同区域压力和非离子型表面活性剂对TEOS去除速率...
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11. 高深宽比石英结构的NLD刻蚀刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年9期页码:摘要： 基于磁中性环路放电(NLD)等离子体刻蚀机的原理,研究了Ar和C4F8混合气体氛围下,射频(RF)天线功率、偏置电源功率、气压和C4F8体积流量等工艺参数对NLD刻蚀石英的影响,最终获取优化...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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