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微纳电子技术

投稿

Micronanoelectronic Technology

曾用名：半导体情报(1964-2001)

AJ SA CSTPCD

影响因子 0.4364

《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多

主办单位：

中国电子科技集团公司第十三研究所

期刊荣誉：

俄罗斯《AJ》收录 美国《剑桥科学文摘》收录 英国《SA》,INSPEC数据库收录

ISSN：

1671-4776

CN：

13-1314/TN

出版周期：

月刊

邮编：

050002

地址：

石家庄市179信箱46分箱

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热门刊内文献

年度刊次

1. 巨磁阻抗传感器在生物检测领域的研究进展

作者：孔云吴次南魏千惠张青竹魏峰

刊名：微纳电子技术

发表期刊： 2022年1期

页码: 1-8,30

摘要：对巨磁阻抗(GMI)效应的产生以及基于GMI效应制备的生物传感器的优势进行了简单阐述,分析了GMI生物传感器应用于生物检测的工作原理,并对GMI生物传感器的制备方法以及主要的薄膜结构对GMI...
2. 涡发生器强化矩形微细通道传热的研究进展

作者：郑思尧郭方文黄魁林清宇冯振飞

刊名：微纳电子技术

发表期刊： 2022年1期

页码: 9-18

摘要：涡发生器(VG)是一种有效的强化传热结构,近年来在微细通道传热领域得到广泛关注.对带有翼型、扰流柱型和插入物型VG的矩形微细通道传热和综合性能的研究进行了综述.首先重点阐述了翼型和扰流柱型V...
3. 射频磁控溅射ITO薄膜对TOPCon太阳电池光电性能的影响

作者：郭永刚王冬冬陈丹石惠君张敏李得银

刊名：微纳电子技术

发表期刊： 2022年1期

页码: 19-24,83

摘要：通过射频(RF)磁控溅射分别在光学玻璃基底上和多晶硅薄膜层上沉积了氧化铟锡(ITO)薄膜,采用Hall效应测试仪测试了ITO薄膜的电阻率和载流子浓度等参数,研究溅射功率和溅射时间等参数对IT...
4. 超级电容器电极材料VS4@PPy的制备及其电化学性能

作者：赵匡健卞梓垚李宽李凯楠肖倩曹海静刘永生方泽波刘士彦朱燕艳

刊名：微纳电子技术

发表期刊： 2022年1期

页码: 25-30

摘要：探索具有优异电化学性能的电极材料是推进超级电容器发展的关键,设计优化过渡金属硫化物并研究其电化学性能对超级电容器的发展和应用至关重要.具有多种不同形貌的VS4正是研究重点之一.采用简单的一步...
5. 柔性石墨烯/聚偏氟乙烯电加热复合膜的制备与研究

作者：李安琪辛斌杰

刊名：微纳电子技术

发表期刊： 2022年1期

页码: 31-37

摘要：石墨烯(GE)具有独特的二维纳米结构、良好的导电性和优异的热性能,使其在与聚偏二氟乙烯(PVDF)一起构建高性能聚合物填料时优于传统填料材料.采用溶液共混法制备GE/PVDF分散液,真空干燥...
6. 基于Ti3SiC2/Ecoflex纳米复合材料的足底能量采集器

作者：邹杰石树正宋金沙何汇成穆继亮

刊名：微纳电子技术

发表期刊： 2022年1期

页码: 38-43,83

摘要：由于人体运动幅度以及频率往往毫无规律,且运动频率很低,这使人体运动能量难以有效采集.针对此问题,研制了一种可高效收集低频能量的足底能量采集器.Ti3SiC2/Ecoflex作为足底能量采集器...
7. 基于聚二甲基硅氧烷微米结构的柔性单电极摩擦纳米发电机

作者：张满山程夏良平党随虎曾梦婷杜春雷

刊名：微纳电子技术

发表期刊： 2022年1期

页码: 44-49

摘要：摩擦纳米发电机已经广泛用于日常生活中收集各种机械能并转换为电能,作为触摸屏和智能皮肤技术的自供能传感系统.为了提高能量转换效率,设计了一种单电极的摩擦纳米发电机(S-TENG).将表面含有微...
8. 一体化仿生结构压电MEMS水声传感器

作者：石树正耿文平毕开西李芬丑修建

刊名：微纳电子技术

发表期刊： 2022年1期

页码: 50-57

摘要：为了实现水声传感器的低能耗、高灵敏度以及低成本批量制造,设计并制备了一种四螺旋梁集成拾振微球的一体化仿生压电微电子机械系统(MEMS)水声传感器.根据水母耳石触觉结构和水母身体回弹发电原理对...
9. 基于核酸检测的微流控芯片设计与传热分析

作者：胡润林王立新任晓龙

刊名：微纳电子技术

发表期刊： 2022年1期

页码: 58-65,73

摘要：为了解决传统数字聚合酶链式反应(PCR)扩增过程中移液操作产生的问题以及升降温速率慢的弊端,设计了一种连续流数字PCR微流控芯片,能对包含PCR反应体系的微滴进行快速扩增,可以提升核酸检测过...
10. 基于MEMS工艺的压电驱动的可变形反射微镜

作者：王一王欢李以贵

刊名：微纳电子技术

发表期刊： 2022年1期

页码: 66-73

摘要：可变形反射镜作为自适应光学系统的核心部件,通过与微电子机械系统(MEMS)技术的结合向微型化、集成化的方向发展.基于压电材料的逆压电效应,设计并制备了一种压电驱动的可变形反射微镜,可通过电信...
11. 微纳尺度下准一维超导体TaSe3的物理减薄

作者：王子佳吴志勇李承翰詹鹏飞杨泽燕吴海城宝日玛邢颖

刊名：微纳电子技术

发表期刊： 2022年1期

页码: 74-83

摘要：在低维材料中,二维材料的剥离技术已经相对成熟,准一维材料由于具有特殊晶格结构,其减薄方法目前还缺乏系统的研究.针对准一维层状超导体TaSe3,借助X射线衍射仪(XRD)、Raman光谱仪(R...
12. 基于离子束辅助沉积生长柔性类单晶硅的方法

作者：高莹陈俊孚吴苏州索进平

刊名：微纳电子技术

发表期刊： 2022年1期

页码: 84-92

摘要：通过离子束辅助沉积(IBAD)和射频磁控溅射(RFMS)的方法在低成本、柔性且轻质的金属箔基板上异质外延生长类单晶硅薄膜.在整个过程中,类单晶的Ge被用作晶格匹配的缓冲层进行Si的外延生长,...
13. 氮掺杂多孔碳纳米纤维的制备及其储钾性能

作者：都玲玲王雁苏芸王斌刘洋

刊名：微纳电子技术

发表期刊： 2022年1期

页码: 93-98

摘要：基于静电纺丝获得多孔碳纳米纤维,随后高温锻烧制备出氮掺杂多孔碳纳米纤维(N-CNF),并将其作为钾离子电池的负极材料.通过场发射扫描电子显微镜(FESEM)、透射电子显微镜(TEM)、X射线...
14. 有机介质薄膜-陶瓷异构集成互连技术

作者：杨鑫刘英坤张鹤张崤君杨欢高岭

刊名：微纳电子技术

发表期刊： 2022年1期

页码: 99-106

摘要：介绍了有机介质薄膜-陶瓷异构集成互连技术发展概况,基于陶瓷基板、有机介质薄膜和金属化布线及互连制备工艺,详细阐述了有机介质薄膜-陶瓷异构集成互连中的四种关键技术:陶瓷基板收缩率控制、陶瓷基板...
15. 基于摩擦纳米发电机的波浪能采集系统的研究进展

作者：姚永杰张鹏王登旭李玉霞黄梁松

刊名：微纳电子技术

发表期刊： 2022年2期

页码: 107-117,144

摘要：简单阐述了近年来摩擦纳米发电机(TENG)的工作原理、四种工作模式以及性能优化的方法,并对其四种工作模式的典型结构、优缺点、应用场合以及影响输出功率的主要因素进行了总结.重点介绍了固-液接触...
16. n型单晶硅片的电阻率和扩散方阻对IBC太阳电池电性能的影响

作者：刘洪东宋标高艳飞董忠吉屈小勇高嘉庆张兴发杨凯舜

刊名：微纳电子技术

发表期刊： 2022年2期

页码: 118-124

摘要：叉指背接触式(IBC)太阳电池因正面没有金属栅线遮挡,具有较高的短路电流,且组件外观更加美观.但由于IBC太阳电池正负电极在背面交叉式分布,在制备过程中需要采用光刻掩模技术进行隔离,难以实现...
17. 基于石墨毡生长的镍钴基化合物电极的双功能电催化性能

作者：庞宁邢晓梅童新熊大元徐少辉王连卫

刊名：微纳电子技术

发表期刊： 2022年2期

页码: 125-132

摘要：以先水热后硫化的方法制备出基于石墨毡基底的镍钴基化合物(NiCo2O4/GF和NiCo2 S4/GF)电极,探究不同水热温度对电极的催化特性的影响.通过扫描电子显微镜(SEM)、能量色散X射...
18. (CoFe)Se2@NC超级电容器电极材料的制备及其电化学性能

作者：李宽肖倩卞梓垚李凯楠赵匡健曹海静朱燕艳方泽波

刊名：微纳电子技术

发表期刊： 2022年2期

页码: 133-139

摘要：金属-有机框架(MOF)衍生的过渡金属硒化物和多孔碳纳米复合材料具有巨大的储能优势,是应用于电化学储能的优良电极材料.采用共沉淀法制备CoFe类普鲁士蓝(CoFe-PBA)纳米立方,并通过静...
19. 利用PDMS纳米结构薄膜增强玻璃基板出光

作者：李晨冉王书杰涂于飞

刊名：微纳电子技术

发表期刊： 2022年2期

页码: 140-144

摘要：以纳米压印技术为基础制备了具有纳米结构的聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜.将纳米结构中间聚合物模板(IPS)薄膜覆盖在有PDMS溶液的玻璃基板上,真空加热后在玻璃基板上得到PDMS网格结构薄膜...
20. 基于拱形结构的摩擦-压电复合式能量采集器

作者：石树正熊枫季喜军

刊名：微纳电子技术

发表期刊： 2022年2期

页码: 145-150,194

摘要：随着纳米技术和加工工艺的发展,纳米发电机被提出用于将自然界中微弱低频振动机械能转化为电能,进而为小型传感系统长续航工作提供可能.基于摩擦纳米发电机和压电纳米发电机的电荷积累与转移规律,设计了...
21. 面向微集成的金刚石NV色心与微波天线的一体化

作者：袁华马宗敏郑斗斗王雪敏柴笑晗

刊名：微纳电子技术

发表期刊： 2022年2期

页码: 151-155,168

摘要：针对金刚石氮空位(NV)色心量子传感器中微波天线体积大、无法与金刚石紧密接触造成天线与金刚石位置不固定、引起传感器灵敏度低的问题,设计了一种将微波天线集成到金刚石NV色心的一体化方法.采用导...
22. Si MEMS陀螺仪的正交耦合补偿技术

作者：任臣王宁杨拥军王晓

刊名：微纳电子技术

发表期刊： 2022年2期

页码: 156-161

摘要：为了减小正交耦合误差对硅微电子机械系统(MEMS)陀螺仪性能的影响,提高陀螺仪零偏精度,对MEMS陀螺仪正交耦合补偿技术进行研究.建立MEMS陀螺仪动力学模型,分析正交耦合产生的原因,介绍了...
23. CaMoO4/GO复合材料的制备及其超级电容器性能

作者：陈刚陈广州潘莉陈东生

刊名：微纳电子技术

发表期刊： 2022年2期

页码: 162-168

摘要：采用水热法成功合成了CaMoO4/氧化石墨烯(GO)纳米复合材料.通过材料的表面形貌、晶体结构和电化学性能研究合成的纳米复合材料.结果表明,CaMoO4/GO电极在电流密度0.5 A/g时...
24. 原子层沉积超薄氮化铝薄膜的椭圆偏振光谱法表征

作者：瞿敏妮乌李瑛董学谦沈贇靓田苗王英程秀兰

刊名：微纳电子技术

发表期刊： 2022年2期

页码: 169-174

摘要：采用原子层沉积(ALD)工艺在硅衬底上生长了35 nm以下不同厚度的超薄氮化铝(AlN)晶态薄膜.利用椭圆偏振光谱法在波长275～900 nm内测量并拟合薄膜的厚度及折射率和消光系数等光学参...
25. 微悬臂梁传感系统在CNT微热量检测中的应用

作者：滕艳华王启明周宁鸿冯贺刘松薛长国

刊名：微纳电子技术

发表期刊： 2022年2期

页码: 175-179

摘要：针对碳纳米管(CNT)微热量检测不易的问题,采用了一种基于微悬臂梁传感器的CNT微热量检测系统进行检测.通过光杠杆检测法测量微悬臂梁弯曲量,从而实现微悬臂梁对CNT的微热量检测,研究了CNT...
26. PLD法制备ITO导电薄膜及其性能

作者：姚雪谭秋林

刊名：微纳电子技术

发表期刊： 2022年2期

页码: 180-186

摘要：为了研制可用于高温环境下进行应变测量的应变层,采用脉冲激光沉积(PLD)法在陶瓷基底上制备了氧化铟锡(ITO)薄膜.研究了PLD法中不同基底温度对ITO薄膜显微结构、电学性能以及阻温特性的影...
27. 交流电场作用下电场流动聚焦装置内微液滴的生成实验

作者：王燕令任敏张常青刘鹤陈华吴学红

刊名：微纳电子技术

发表期刊： 2022年2期

页码: 187-194

摘要：采用非接触式电极放入方式,避免了电化学效应的产生,通过改变外加交流电场强度和电场频率,研究了液滴交流电场流动聚集断裂过程的流型转变、液滴当量直径和生成频率.结果表明,流量不变时,仅通过改变...
28. FinFET/GAAFET纳电子学与人工智能芯片的新进展

作者：赵正平

刊名：微纳电子技术

发表期刊： 2022年3期

页码: 195-209

摘要：集成电路在后摩尔时代的发展呈现出多模式创新的特点.综述了后摩尔时代中两大创新发展热点,即鳍式场效应晶体管/环绕栅场效应晶体管(FinFET/GAAFET)纳电子学和基于深度学习新算法的人工智...
29. 基于FET结构的MoS2器件的研究进展

作者：潘苏敏黄玲琴陶化文

刊名：微纳电子技术

发表期刊： 2022年3期

页码: 210-217

摘要：对带隙可调的二维层状半导体二硫化钼(MoS2)的材料特性以及基于MoS2薄膜的器件性能和应用进行了简单阐述,重点分析了多种MoS2场效应晶体管(FET)的结构特点,并对MoS2 FET的制备...
30. 电极材料对肖特基结β辐射伏特同位素电池性能的影响

作者：王晓彧韩运成张佳辰冯加明熊厚华陈志远李月生李桃生

刊名：微纳电子技术

发表期刊： 2022年3期

页码: 218-224

摘要：肖特基结β辐射伏特同位素电池的换能单元由金属电极层和半导体层组成,金属电极层材料的选择对提高电池输出性能有重要的影响.目前,肖特基金属电极材料多集中于Au和Ni两种金属,尚未对不同金属电极材...

微纳电子技术基本信息

刊名	微纳电子技术	主编	李和委
曾用名	半导体情报(1964-2001)
主办单位	中国电子科技集团公司第十三研究所	主管单位	中华人民共工业和信息化部
出版周期	月刊	语种	chi
ISSN	1671-4776	CN	13-1314/TN
邮编	050002	电子邮箱	wndz@vip.sina.com
电话	0311-87091487	网址	www.wndz.org
地址	石家庄市179信箱46分箱