利用PDMS纳米结构薄膜增强玻璃基板出光

• 作者: 李晨冉 王书杰 涂于飞
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 纳米压印技术 中间聚合物模板(IPS) 快速傅里叶变换(FFT) 时城有限差分(FDTD)
• 年，卷（期）: 2022,（2）
• 所属期刊栏目: 材料与结构|Materials and Structures
• 页码范围: 140-144
• 页数: 5页
• 分类号: TB383
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2022.02.005

摘要

以纳米压印技术为基础制备了具有纳米结构的聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜.将纳米结构中间聚合物模板(IPS)薄膜覆盖在有PDMS溶液的玻璃基板上,真空加热后在玻璃基板上得到PDMS网格结构薄膜.这种方式得到的网格结构形状保持较好且厚度均匀无气泡,IPS薄膜不仅可以反复使用以减少Si母版的材料损耗,还可以缩短网格结构的制备时间.快速傅里叶变换(FFT)表明网格结构在可视角度下不存在角度依赖性.最后,利用时域有限差分(FDTD)对有无PDMS纳米结构的基板性能进行模拟,结合实验结果分析有无网格纳米结构对基板性能的影响,证明了网格结构适合作为介质散射层使用.