基于MEMS工艺的压电驱动的可变形反射微镜

• 作者: 王一 王欢 李以贵
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 自适应光学系统 可变形反射微镜 硅镜片 压电材料
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备|Processing, Measurement and Equipment
• 页码范围: 66-73
• 页数: 8页
• 分类号: TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2022.01.010

摘要

可变形反射镜作为自适应光学系统的核心部件,通过与微电子机械系统(MEMS)技术的结合向微型化、集成化的方向发展.基于压电材料的逆压电效应,设计并制备了一种压电驱动的可变形反射微镜,可通过电信号的控制实现微镜的驱动控制.设计的可变形反射微镜由硅镜片、锆钛酸铅(PZT)驱动器和玻璃基板三部分结构组成.利用有限元仿真软件对硅镜片的结构进行了优化.采用物理气相沉积、紫外光刻、共晶键合、机械切割和深反应离子刻蚀(DRIE)等工艺制备了微镜.在制备硅镜片的每一个工艺步骤结束后,使用激光干涉仪对硅镜面表面形变进行了检测.检测结果显示,制备的微镜在加载±1.5 kV电压时可以实现正向最大0.6 μm、负向最大1.7μm的变形.着重讨论了硅镜片产生不均匀形变的原因,并提出了一些解决办法.