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热波探针在离子注入表征上的应用
离子注入
热波探针
角度
剂量
均一性
离子注入技术及其在烟草上的研究应用综述
离子注入
烟草
转基因
生物学效应
品种改良
离子注入表面改性技术的应用与发展
离子注入
表面改性
应用
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 离子注入工艺在工业上的应用
来源期刊 北京机电通讯 学科 工学
关键词 离子注入 工艺 掺杂
年,卷(期) 1989,(16) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 1-6
页数 6页 分类号 TN305.3
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研究主题发展历程
节点文献
离子注入
工艺
掺杂
研究起点
研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
北京机电通讯
半年刊
北京市朝阳区工体北路4号
出版文献量(篇)
123
总下载数(次)
4
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0
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