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串列加速器-离子注入机-透射电镜联机系统的建立
原位透射电子显微镜
加速器
联机装置
离子注入
50型MEVVA源离子注入机
材料表面改性
MEVVA源
离子注入机
批处理离子注入机台锥角效应及注入角度对产品的影响
批处理离子注入机
锥角效应
沟道效应
均匀性
离子加速器和离子注入机建设项目环境影响评价
离子加速器
离子注入机
环境影响评价
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 CG—100离子注入机多功能靶室简介
来源期刊 北京机电通讯 学科 工学
关键词 离子注入机 多功能 靶室 CG-100型
年,卷(期) 1989,(16) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 11-12
页数 2页 分类号 TN305.3
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1989(0)
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研究主题发展历程
节点文献
离子注入机
多功能
靶室
CG-100型
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
北京机电通讯
半年刊
北京市朝阳区工体北路4号
出版文献量(篇)
123
总下载数(次)
4
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0
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