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文献信息
| 篇名 | 物理汽相淀积技术的工艺方法和设备 | ||
| 来源期刊 | 四川真空 | 学科 | 物理学 |
| 关键词 | 物理汽相淀积 蒸发 溅射 工艺方法 | ||
| 年，卷（期） | sczkb_1989,（3） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 22-42 | |
| 页数 | 21页 | 分类号 | O532.24 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
五维指标
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1989(0)
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研究主题发展历程
节点文献
物理汽相淀积
蒸发
溅射
工艺方法
研究起点
研究来源
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
四川真空
主办单位：
四川省真空学会
国投南光有限公司
出版周期：
半年刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
成都市第109信箱207分箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
395
总下载数（次）
1
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