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多晶硅薄膜
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冗余设计
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等离子体气相凝聚技术
差分抽气技术
铜纳米团簇薄膜
沉积速率
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 等离子体化学气相沉积技术合成TiN薄膜
来源期刊 四川真空 学科 工学
关键词 等离子体 化学气相沉积 TIN 薄膜
年,卷(期) 1989,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 29-34
页数 6页 分类号 TB43
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1989(0)
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研究主题发展历程
节点文献
等离子体
化学气相沉积
TIN
薄膜
研究起点
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期刊影响力
四川真空
半年刊
成都市第109信箱207分箱
出版文献量(篇)
395
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