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文献信息
篇名 PVD法硬质薄膜中的残余应力
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 工学
关键词 物理气相沉积 残余应力 硬质薄膜
年,卷(期) 1990,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 46-51
页数 6页 分类号 TB43
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物理气相沉积
残余应力
硬质薄膜
研究起点
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期刊影响力
薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
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