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镀有多层膜衍射光栅在远紫外区域的特性
镀有多层膜衍射光栅在远紫外区域的特性
作者:
Kes.,RAM
胡长胜
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多层膜
衍射光栅
远紫外区域
特性
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篇名
镀有多层膜衍射光栅在远紫外区域的特性
来源期刊
北光通讯
学科
工学
关键词
多层膜
衍射光栅
远紫外区域
特性
年,卷(期)
1991,(2)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
51-52
页数
2页
分类号
TH741.6
字数
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1991(0)
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多层膜
衍射光栅
远紫外区域
特性
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北光通讯
主办单位:
北京光学仪器厂北京市光学精密仪器研究所
出版周期:
季刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
北京光学仪器厂
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392
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