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内容分析
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文献信息
篇名 用于离子辅助沉积的带等离子体阴极的离子源
来源期刊 国外核聚变与等离子体应用 学科 物理学
关键词 等离子体阴极 离子源 沉积 薄膜
年,卷(期) 1991,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 73-75
页数 3页 分类号 O484.1
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等离子体阴极
离子源
沉积
薄膜
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期刊影响力
国外核聚变
双月刊
四川省成都市432信箱
出版文献量(篇)
728
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