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离子束辅助沉积
离子注入
腐蚀
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文献信息
篇名 离子束增强沉积薄膜合成及其在材料表面优化中的应用
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 工学
关键词 离子束 薄膜 材料 沉积
年,卷(期) 1991,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 21-30
页数 10页 分类号 TB43
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薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
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327
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