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通过空心阴极弧（HCA）实现等离子体活化物理汽相沉积（P…
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文献信息
| 篇名 | 通过空心阴极弧（HCA）实现等离子体活化物理汽相沉积（P… | ||
| 来源期刊 | 国外核聚变与等离子体应用 | 学科 | 物理学 |
| 关键词 | 空心阴极弧 等离子体应用 沉积 | ||
| 年，卷（期） | 1992,（2） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 72-75,41 | |
| 页数 | 5页 | 分类号 | O539 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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