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关于薄SiO2膜击穿的碰撞电离模型
关于薄SiO2膜击穿的碰撞电离模型
作者:
张积之
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SIO2膜
击穿
碰撞电离
MOS器件
IC
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文献信息
篇名
关于薄SiO2膜击穿的碰撞电离模型
来源期刊
上海半导体
学科
工学
关键词
SIO2膜
击穿
碰撞电离
MOS器件
IC
年,卷(期)
1992,(2)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
34-40
页数
7页
分类号
TM215.3
字数
语种
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研究来源
研究分支
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期刊影响力
上海微电子技术和应用
主办单位:
出版周期:
季刊
ISSN:
1006-9453
CN:
31-1239/TN
开本:
出版地:
上海市胶州路397号 上海半导体器件研究
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
435
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