VLSI制造工艺对超纯水质量的要求

田中满州; 罗敬承

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VLSI制造工艺对超纯水质量的要求

作者：

田中满州罗敬承

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VLSI

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文献信息

篇名	VLSI制造工艺对超纯水质量的要求
来源期刊	电子材料（机电部）	学科	工学
关键词	VLSI 工艺纯水质量
年，卷（期）	1992,（11）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	20-21
页数	2页	分类号	TN47
字数		语种
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