静电直线驱动器

谢国章

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静电直线驱动器

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谢国章

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驱动器

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篇名	静电直线驱动器
来源期刊	电子工艺简讯	学科	工学
关键词	驱动器直线式静电
年，卷（期）	1992,（8）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	16-17
页数	2页	分类号	TM384
字数		语种
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