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激光等离子体软X射线光源的一种诊断方法
激光等离子
软X射线诊断
气体靶
软X射线光源
激光焊活性影响等离子体的初步研究
激光焊接
等离子体
活性剂
三维同步高速摄影
激光支持等离子体爆轰波温度的实验测量
等离子体
温度
激光
爆轰波
冲击波
新型大功率软开关等离子体逆变器的研究
激磁电感
软开关
等离子体
电流注入移相控制
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 用激光等离子体光源实现的衍射极限下的软X射线投影光刻
来源期刊 光机电世界 学科 工学
关键词 激光等离子体 光源 X射线 光刻
年,卷(期) 1993,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 31-36
页数 6页 分类号 TH740.3
字数 语种 中文
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研究主题发展历程
节点文献
激光等离子体
光源
X射线
光刻
研究起点
研究来源
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研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光机电世界
月刊
CN 22-1142/TH
长春市1024信箱
出版文献量(篇)
195
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1
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