小膜片制作工艺方法

唐经球

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小膜片制作工艺方法

作者：

唐经球

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敏感器件

传感器

膜片

制造工艺

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文献信息

篇名	小膜片制作工艺方法
来源期刊	电子工艺简讯	学科	工学
关键词	敏感器件传感器膜片制造工艺
年，卷（期）	1993,（8）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	10-11
页数	2页	分类号	TN379
字数		语种
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