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微机械技术及其在仪表领域中的应用:第五讲 仪表应用微机械技术的实例(二)
微机械技术及其在仪表领域中的应用:第五讲 仪表应用微机械技术的实例(二)
作者:
谢国章
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仪表
微机械技术
硅悬臂梁
振荡器
传感器
摘要:
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篇名
微机械技术及其在仪表领域中的应用:第五讲 仪表应用微机械技术的实例(二)
来源期刊
电子与仪表
学科
工学
关键词
仪表
微机械技术
硅悬臂梁
振荡器
传感器
年,卷(期)
1994,(5)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
40-43
页数
4页
分类号
TH7-39
字数
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DOI
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电子与仪表
主办单位:
上海市电子仪表科技情报研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
CN:
31-1446/TN
开本:
出版地:
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创刊时间:
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1004
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