论文降重
免费查重- 钛学术文献服务平台 \
- 学术期刊 \
- 综合期刊 \
- 其它期刊 \
- 上海微电子技术和应用期刊 \
氙离子束轰击对氮气氛中沉积钛膜的影响
推荐文章
离子束增强沉积技术
离子束增强
铜膜
离子源
脉冲离子束轰击靶的热效应数值模拟
脉冲离子束
靶
数值模拟
离子束辅助沉积制备的铁锆多层膜中的相演化
离子束辅助沉积
非晶薄膜
铁-锆合金
D+离子束轰击时间对氘钛靶特性的影响
中子发生器
氘钛靶
伴随粒子法
慢正电子湮没技术
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献 (0)
共引文献 (0)
参考文献 (0)
节点文献
引证文献 (0)
同被引文献 (0)
二级引证文献 (0)
1994(0)
- 参考文献(0)
- 二级参考文献(0)
- 引证文献(0)
- 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
氮化钛
薄膜
沉积
氙离子束
氮气
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
上海微电子技术和应用
主办单位：
出版周期：
季刊
ISSN：
1006-9453
CN：
31-1239/TN
开本：
出版地：
上海市胶州路397号 上海半导体器件研究
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
435
总下载数（次）
3
总被引数（次）
0
期刊文献
相关文献
推荐文献
