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最子尺度结构薄膜的进展:纳米半导体薄膜
最子尺度结构薄膜的进展:纳米半导体薄膜
作者:
林鸿溢
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纳米半导体薄膜
薄膜
纳米硅薄膜
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篇名
最子尺度结构薄膜的进展:纳米半导体薄膜
来源期刊
薄膜科学与技术
学科
工学
关键词
纳米半导体薄膜
薄膜
纳米硅薄膜
年,卷(期)
1994,(3)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
234-241
页数
8页
分类号
TN304.055
字数
语种
DOI
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引文网络
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纳米半导体薄膜
薄膜
纳米硅薄膜
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
薄膜科学与技术
主办单位:
南京电子器件研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
南京1601信箱43分箱
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
327
总下载数(次)
1
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