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摘要:
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加速度传感器
优化设计
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新型传感器
信号检测
武器装备
发展
应用
基于硅隔离技术的耐高温压力传感器研究
硅隔离
压力传递机构
耐高温
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 新型的硅传感器
来源期刊 上海微电子技术和应用 学科 工学
关键词 硅传感器 传感器
年,卷(期) 1995,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 46-54
页数 9页 分类号 TN304.12
字数 语种
DOI
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1995(0)
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研究主题发展历程
节点文献
硅传感器
传感器
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
上海微电子技术和应用
季刊
1006-9453
31-1239/TN
上海市胶州路397号 上海半导体器件研究
出版文献量(篇)
435
总下载数(次)
3
总被引数(次)
0
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