薄膜多层布线的CAA

• 作者: 孙一军 孙承永
• 来源期刊: 上海微电子技术和应用
• 学科: 工学
• 关键词: 计算机 辅助电路分析 设计 薄膜 多层布线
• 年，卷（期）: 1995,（4）
• 页码范围: 13-15
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.055

摘要

本文以“控制信号发生器”为例讨论了薄膜多层布线的计算机辅助电路分析，为其薄膜四层布线的布图设计做了准备工作，并对结果进行了讨论。