铁电薄膜与器件的电特性及辐射效应

• 作者: 林成鲁 高剑侠
• 来源期刊: 上海微电子技术和应用
• 学科: 工学
• 关键词: 铁电薄膜 极化 辐照
• 年，卷（期）: 1996,（3）
• 页码范围: 6-13
• 页数: 8页
• 分类号: TN304.9

摘要

本文详细讨论了铁电电容和器件的电极化特性的研究方法及其电极化特性的辐照效应。