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热丝辅助MW ECR CVD技术高速沉积高质量氢化非晶硅薄膜
氢化非晶硅
氢稀释率
电子回旋共振化学气相沉积
光敏性
高质量非晶金刚石薄膜的制备研究
磁过滤等离子体
非晶金刚石膜
周期性偏压
性能
浅谈高质量专利
高质量
专利
评价体系
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 用热灯丝技术制备高质量氢化非晶Ge
来源期刊 电子材料快报 学科 工学
关键词 热灯丝技术 氢化非晶锗 锗
年,卷(期) dzclkb_1996,(6) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 6-7
页数 2页 分类号 TN304.11
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节点文献
热灯丝技术
氢化非晶锗
锗
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电子材料快报
月刊
天津(南)科研西路20号(天津55信箱)
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576
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