LC—13型强流氧离子注入机

• 作者: 刘湘德
• 来源期刊: LSI制造与测试
• 学科: 工学
• 关键词: 离子注入 氧离子 注入机
• 年，卷（期）: 1996,（6）
• 页码范围: 12-13
• 页数: 2页
• 分类号: TN305.3

摘要

强流氧离子注入机是用于研制开发ＳＩＭＯＸ材料所需的关键设备。该项目的研制具有一定的难度，在国内尚属首例。本文描述了ＬＣ－１３型强流氧离子注入机主要性能指标及技术难点。

作者信息

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1	刘湘德		1	0	0.0	0.0