反应性离子镀制备多层薄膜

晓青

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反应性离子镀制备多层薄膜

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晓青

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离子镀

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文献信息

篇名	反应性离子镀制备多层薄膜
来源期刊	等离子体应用技术快报	学科	工学
关键词	离子镀薄膜氮化钛
年，卷（期）	1996,（2）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	3-4
页数	2页	分类号	TG156.8
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