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DLC膜厚度对镁基表面DLC/MAO复合膜层性能的影响
镁合金
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微观结构
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H13钢
复合处理
等离子渗氮
类金刚石膜
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类金刚石膜
比功率密度
磁感应强度
喷雾热解法制备掺锑氧化锡透明导电膜
氧化锡
喷雾热分解
四氯化锡
三氯化锑
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 通过超磁控管PCVD生成导电的掺氮a—C:H膜(DLC膜)
来源期刊 等离子体应用技术快报 学科 物理学
关键词 PCVD 类金刚石 薄膜生长
年,卷(期) 1997,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 5-6
页数 2页 分类号 O484.1
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1997(0)
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节点文献
PCVD
类金刚石
薄膜生长
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等离子体应用技术快报
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