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半导体SiC材料的外延生长
半导体SiC材料的外延生长
作者:
李晋闽
林兰英
王引书
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
摘要:
SiC具有禁带宽度大、热导率高、电子的饱和漂移速度大、临界击穿电场高和介电常数低等特点,在高频、大功率、耐高温、抗辐照的半导体器件及紫外探测器和短波发光二极管等方面具有广泛的应用前景.本文简要介绍SiC半导体材料的液相外延、化学气相和分子束外延生长的概况及生长过程中杂质的控制.
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工况
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居里温度
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反铁磁性交换作用
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(/年)
文献信息
篇名
半导体SiC材料的外延生长
来源期刊
高技术通讯
学科
工学
关键词
年,卷(期)
1998,(7)
所属期刊栏目
综述
研究方向
页码范围
59
页数
分类号
TB3|TN3
字数
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:1002-0470.1998.07.014
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
李晋闽
中国科学院半导体所
75
652
13.0
23.0
2
林兰英
中国科学院半导体所
33
145
7.0
10.0
3
王引书
中国科学院半导体所
3
63
3.0
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传播情况
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高技术通讯
主办单位:
中国科学技术信息研究所
出版周期:
月刊
ISSN:
1002-0470
CN:
11-2770/N
开本:
大16开
出版地:
北京市三里河路54号
邮发代号:
82-516
创刊时间:
1991
语种:
chi
出版文献量(篇)
5099
总下载数(次)
14
总被引数(次)
39217
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