氮原子在CVD低压金刚石制备过程中的作用

• 作者: 万永中 刘志杰 张剑云 张卫 曹传宝 朱鹤孙 王季陶
• 来源期刊: 高技术通讯
• 学科: 化学
• 关键词: 氮 化学气相淀积 金刚石
• 年，卷（期）: 1998,（9）
• 所属期刊栏目: 研究通讯
• 页码范围: 36-39
• 分类号: O6
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-0470.1998.09.008

摘要

根据理论计算得到了碳氢氮体系低压金刚石生长非平衡定态相图,结果与实验数据相当符合,并通过相图和热力学计算讨论了氮原子含量对金刚石生长条件的影响以及在CVD金刚石制备过程中提高金刚石薄膜生长速率的原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张卫	北京理工大学材料科学研究室	1	2	1.0	1.0
2	张剑云	北京理工大学材料科学研究室	1	2	1.0	1.0