硅微谐振器的光激励

• 作者: 丁纯 喻浩 徐义刚 王跃林 金仲和
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅悬臂梁谐振子 光激励
• 年，卷（期）: 1998,（6）
• 所属期刊栏目: 学术论文与技术报告
• 页码范围: 0
• 分类号: TN62
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.1998.06.006

摘要

本文对硅悬臂梁谐振子的光激励进行了研究,从理论计算和实验两方面分析了悬臂梁谐振器的光激励特性.获得了谐振器响应的幅频特性曲线和激励光斑位置与谐振器输出关系的曲线.本文的结果为全光型微机械谐振器的研究提供了理论依据.