光激励微型硅谐振器研究

• 作者: 王家桢 童诗白 高金山
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅微结构 谐振传感器 光纤传感器
• 年，卷（期）: 1998,（5）
• 所属期刊栏目: 科研通信
• 页码范围: 60-62
• 分类号: TN62
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.1998.05.014

摘要

本文介绍了一种可以形成新型光纤传感器的微型硅谐振器,其基本原理是微型硅谐振器在调制光的光热作用下产生谐振,被测物理参数使谐振频率发生改变.文中给出了用单晶硅制作桥型微谐振器的方法,研究了微型谐振器在光激励下产生振动的机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高金山	北方交通大学计算机科学系	3	6	1.0	2.0
5	王家桢	北方交通大学计算机科学系	1	1	1.0	1.0
9	童诗白	北方交通大学计算机科学系	1	1	1.0	1.0