微机械臂激光驱动机理分析

• 作者: 丁浩 方祖捷 瞿荣辉 赵浩 陈高庭
• 来源期刊: 红外与激光工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械 激光驱动
• 年，卷（期）: 1999,（2）
• 所属期刊栏目: 光学机械和元件
• 页码范围: 49-52
• 分类号: TP3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2276.1999.02.013

摘要

对一种激光驱动的微臂机构的运动机理进行分析.该微机械臂的典型长度在亚毫米量级,宽度和厚度在数微米量级.微臂同一个半导体激光器单片集成或混合集成成为一个整体.当激光器输出光脉冲时,微臂将发生振动.文中采用一端固定、一端自由运动的长方形悬臂的力学模型,分析比较了激光的光压作用和激光的热效应两种机理.根据推导出的公式估算,得出了在现有条件下激光驱动的基本机理是光的热效应的结论.对这种微臂的运动特性作了初步的讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	瞿荣辉	中国科学院上海光学精密机械研究所	117	1459	21.0	34.0
2	陈高庭	中国科学院上海光学精密机械研究所	62	886	18.0	28.0
3	方祖捷	中国科学院上海光学精密机械研究所	158	2256	27.0	39.0
4	丁浩	中国科学院上海光学精密机械研究所	6	99	3.0	6.0
5	赵浩	中国科学院上海光学精密机械研究所	6	118	4.0	6.0