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SiO2膜
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正硅酸乙脂
烧结制度对SiO2及Al2O3-SiO2陶瓷膜性能的影响
烧结制度
SiO2陶瓷膜
Al2O3-SiO2陶瓷膜
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 在硅片上生长SiO2膜的方法
来源期刊 硅铝化合物技术资料 学科 工学
关键词 半导体 硅片 二氧化硅 薄膜生长
年,卷(期) 1999,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 17-19
页数 3页 分类号 TN304.12
字数 语种 中文
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半导体
硅片
二氧化硅
薄膜生长
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硅铝化合物技术资料
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