铁电薄膜的材料系统与功能性质

• 作者: 孙顺明
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 工学
• 关键词: 集成铁电体 铁电薄膜 铁电材料 功能性质 薄膜电极
• 年，卷（期）: 1999,（4）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 71-75
• 页数: 5页
• 分类号: TQ17
• 字数: 3632字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-1625.1999.04.015

摘要

集成铁电体把铁电材料与集成半导体技术联合起来,以发展出一批新的电子器件.铁电薄膜在其中发挥着非挥发性记忆、热释电、压电、光折变、抗辐射、声学的和/或介电的功能性质.在不同的器件应用中,铁电薄膜的材料体系是不相同的.在非挥发性存贮器(NVRAM)中,PZT薄膜面临着SrBi2Ta2O9(SBT)系列铁电体的强力挑战;Ba1-xSrxTiO3(BST)则可能出现在下一代高密度动态随机存贮器(DRAM)中.金属氧化物电极和/或过渡层可以克服Pt电极面临的一些问题,并有助于铁电薄膜的外延生长.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙顺明	西安交通大学电子与信息工程学院	2	61	2.0	2.0